[發明專利]振蕩器裝置、光偏轉器及使用光偏轉器的成像設備

有效

• 申請號: 200810099084.3
• 申請日: 2008-05-16
• 公開（公告）號: CN101308248A
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發明（設計）人: 渡辺郁夫
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;B81B7/02
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 楊國權

1.一種振蕩器裝置，包括：

振蕩系統，其具有振蕩器和彈性支撐構件；

檢測構件，其被配置為檢測所述振蕩器的振蕩幅度；

驅動構件，其被配置為驅動所述振蕩器；以及

控制單元，其被配置為生成用于驅動所述振蕩器的驅動信號，以及將所述驅動信號提供給所述驅動構件；

其中，所述控制單元往復掃掠所述驅動信號的驅動頻率，從而所述振蕩系統的諧振頻率被包括在所掃掠的頻率范圍內，其中，所述控制單元基于至少兩個頻率來確定諧振頻率，其中，在上述至少兩個頻率，可由往復掃掠所獲得的振蕩幅度值達到最大值，并且其中，所述控制單元基于所確定的諧振頻率生成所述驅動信號。

2.如權利要求1所述的振蕩器裝置，其中，在由fmax1表示當在往復掃掠中按正向行程對頻率進行掃掠時所述振蕩幅度值達到最大值的頻率的情況下，以及在由fmax2表示當在往復掃掠中按逆向行程對頻率進行掃掠時所述振蕩幅度值達到最大值的頻率的情況下，所述控制單元將所述頻率fmax1和fmax2的平均頻率(fmax1+fmax2)/2確定作為所述振蕩系統的諧振頻率。

3.如權利要求1所述的振蕩器裝置，其中，在按正向行程來掃掠驅動頻率之后，所述控制單元以比正向行程的掃掠速度更慢的速度按逆向行程來掃掠驅動頻率。

4.如權利要求3所述的振蕩器裝置，其中，當在驅動頻率的正向行程掃掠中穿過所述振蕩幅度值達到最大值的頻率之后，當振蕩幅度開始減少時，所述控制單元停止掃掠驅動頻率，并且其中，所述控制單元以比正向行程掃掠速度更慢的速度從停止正向行程掃掠的位置按逆向行程掃掠驅動頻率，并且將振蕩幅度值再次達到最大值的頻率確定作為所述振蕩系統的諧振頻率。

5.如權利要求3所述的振蕩器裝置，其中，對于掃掠驅動頻率，所述控制單元按預定變化連續改變驅動頻率，并且在應用每一變化之后保持該驅動頻率預定時間。

6.如權利要求5所述的振蕩器裝置，其中，所述控制單元通過按預定變化連續改變驅動頻率來掃掠驅動頻率，并且，當在穿過所述振蕩幅度值達到最大值的頻率之后所述振蕩幅度開始減少時，所述控制單元停止驅動頻率掃掠，并且其中，在按比正向行程中的驅動頻率的預定變化更小的預定變化連續改變驅動頻率的同時，所述控制單元從停止正向行程掃掠的位置按逆向行程掃掠驅動信號。

7.如權利要求6所述的振蕩器裝置，其中，在逆向行程掃掠中，當在穿過所述振蕩幅度值達到最大值的頻率之后所述振蕩幅度開始減少時，所述控制單元停止驅動頻率掃掠，并且其中，在按比逆向行程掃掠中的驅動頻率的預定變化更小的預定變化連續改變驅動頻率的同時，所述控制單元從停止逆向行程掃掠的位置按正向行程再次掃掠驅動信號。

8.如權利要求7所述的振蕩器裝置，其中，所述控制單元重復驅動頻率的往復掃掠，直到驅動頻率的變化變得比預定值更小。

9.如權利要求5-8中的任意一項所述的振蕩器裝置，其中，使得當所述振蕩器的振蕩幅度小于預定閾值時的驅動頻率的變化比當所述振蕩器的振蕩幅度大于所述預定閾值時的驅動頻率的變化更大。

10.如權利要求1-8中的任意一項所述的振蕩器裝置，其中，所述振蕩系統包括：支撐構件、第一振蕩器、第二振蕩器、第一彈性支撐構件以及第二彈性支撐構件，所述第一彈性支撐構件被配置為相對于所述第二振蕩器而支撐所述第一振蕩器，以用于關于扭轉軸振蕩運動，所述第二彈性支撐構件被配置為相對于支撐構件來支撐所述第二振蕩器，以用于關于所述扭轉軸振蕩運動。

11.一種光偏轉器，包括：

如權利要求1-10中的任意一項所述的振蕩器裝置；以及

光偏轉元件，其被提供在所述振蕩器處。

12.一種成像設備，包括：

如權利要求11所述的光偏轉器；

光學系統；

光源；以及

光敏構件；

其中，由所述光偏轉器以掃描方式使得來自所述光源的光束偏轉，并且通過所述光學系統在所述光敏構件上的目標位置處收集所偏轉的掃描光束。