[發明專利]帶涂覆膜的基板的制造法、濾色器及其制造法和顯示裝置無效
| 申請號： | 200810097168.3 | 申請日： | 2008-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN101311832A | 公開（公告）日： | 2008-11-26 |
| 發明（設計）人： | 金子若彥 | 申請（專利權）人： | 富士膠片株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G02B5/20;G02F1/1333;F26B5/04 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 帶涂覆膜 制造 濾色器 及其 顯示裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種帶涂覆膜的基板的制造方法，其特征在于，包括：
在表面具有凹凸的基板的存在所述凹凸一側的面上，涂覆涂覆液的涂覆工序；
在冷卻所述基板的同時，對氣氛進行減壓使被涂覆的所述涂覆液干燥的干燥工序。
2.根據權利要求1所述的帶涂覆膜的基板的制造方法，其特征在于，所述干燥工序中將所述基板冷卻到5℃以上20℃以下。
3.根據權利要求1所述的帶涂覆膜的基板的制造方法，其特征在于，所述干燥工序包括：
用10秒鐘以上的時間將所述氣氛從大氣壓減壓至大氣壓的1/10的步驟，
將被減壓至大氣壓的1/10的氣氛再減壓到5kPa以下的步驟。
4.根據權利要求2所述的帶涂覆膜的基板的制造方法，其特征在于，所述干燥工序包括：
用10秒鐘以上的時間將所述氣氛從大氣壓減壓至大氣壓的1/10的步驟，
將被減壓至大氣壓的1/10的氣氛再減壓到5kPa以下的步驟。
5.一種濾色器的制造方法，其特征在于，包括：
在基板上形成隔壁的隔壁形成工序；
在所述基板的形成有隔壁一側的面上，使用權利要求1～4中任一項所述的帶涂覆膜的基板的制造方法，涂覆由著色固化性組合物構成的涂覆液，使其干燥形成著色層的著色層形成工序；
將形成的所述著色層曝光、顯影，形成著色圖案的著色圖案形成工序。
6.一種濾色器，其特征在于，使用權利要求5所述濾色器的制造方法制得。
7.顯示裝置，其特征在于，具有權利要求6所述濾色器。
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