[發明專利]微機械器件及設計其的設備和制造其的方法,和微機械系統

有效

• 申請號: 200810097065.7
• 申請日: 2008-05-12
• 公開（公告）號: CN101301991A
• 公開（公告）日: 2008-11-12
• 發明（設計）人: 托馬斯·克勞澤;托馬斯·格拉斯霍夫
• 申請（專利權）人: 弗勞恩霍夫應用研究促進協會
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G02F7/00;G02B27/18;G02B26/10
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 王新華

1.一種微機械器件(100；100′)，包括：

層(110)；

形成在層(110)內的第一切口(120′)，用于限定第一擺動元件(150 ′)，所述第一擺動元件(150′)通過層(110)的第一彈簧部分(130′) 被可擺動地懸掛；和

形成在層(110)內的第二切口(120)，用于限定第二擺動元件(150)， 所述第二擺動元件(150)通過層(110)的第二彈簧部分(130)被可擺 動地懸掛，其中溝槽(140)在層(110)的主表面(112)中形成在第二 彈簧部分(130)內，

其中第一擺動元件(150′)的諧振頻率(f₁)與第二擺動元件(150) 的諧振頻率(f₂)不同，并且如此形成第一彈簧部分(130′)、第二彈簧部 分(130)和溝槽(140)使得在第一彈簧部分(130′)和第二彈簧部分(130) 的各向異性橫向材料移除(-Δb)或各向異性橫向材料增加(+Δb)的情 況下，第二擺動元件(150)的諧振頻率的相對變化與第一擺動元件(150 ′)的諧振頻率的相對變化的比率(V_s)范圍為從0.8至1.2。

2.根據權利要求1中所述的微機械器件，其中第一擺動元件(150′) 的諧振頻率(f₁)小于第二擺動元件(150)的諧振頻率(f₂)。

3.根據權利要求1中所述的微機械器件，其中第二擺動元件(150) 的諧振頻率(f₂)與第一擺動元件(150′)的諧振頻率(f₁)比率在范圍 0.5至2之外。

4.根據權利要求1中所述的微機械器件，其中第二擺動元件(150) 的諧振頻率(f₂)與第一擺動元件(150′)的諧振頻率(f₁)比率在范圍 0.8至1.2之外，且第二擺動元件(150)的諧振頻率的相對變化與第一擺 動元件(150′)的諧振頻率的相對變化的比率(V_s)范圍為從0.9至1.1。

5.根據權利要求1中所述的微機械器件，其中溝槽(140)包括直的 或彎曲的構造。

6.根據權利要求1中所述的微機械器件，其中溝槽(140)形成為從 主表面(112)到與所述主表面相對的第二主表面至少部分連續。

7.根據權利要求1中所述的微機械器件，其中多個溝槽(140′、140 ″、140″′)在所述層的主表面(112)中形成在第二彈簧部分(130)內。

8.根據權利要求7中所述的微機械器件，其中多個溝槽(140′、140 ″、140″′)的至少部分彼此平行地布置。

9.根據權利要求8中所述的微機械器件，其中多個溝槽(140′、140 ″、140″′)的至少部分彼此前后布置成線。

10.根據權利要求1中所述的微機械器件，其中另一切口(122)緊 接著第二切口(120)形成在層(110)內，以便與第二切口(120)一起 限定與層的第二彈簧部分(130)和第二擺動元件(150)相對布置的另一 彈簧部分(132)，其中所述第二擺動元件(150)通過第二彈簧部分(130) 和另一彈簧部分(132)被可擺動地懸掛，并且另一溝槽(142)在層(110) 的主表面(112)中形成在另一彈簧部分(132)內。

11.根據權利要求10中所述的微機械器件，其中所述溝槽(140)和 另一溝槽(142)關于第二擺動元件(150)的中心軸線(154)對稱布置， 其中所述中心軸線(154)與由所述溝槽(140)和另一溝槽(142)限定 的第二擺動元件(150)的中心軸線(152)正交。

12.根據權利要求1所述的微機械器件(100)，其中所述溝槽(140) 以凹陷的形式在層(110)的主表面(112)中形成在所述第二彈簧部分(130) 內。