[發(fā)明專利]鉆頭檢查裝置、鉆頭檢查方法及記錄了其程序的記錄媒體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810096967.9
• 申請日: 2008-05-12
• 公開（公告）號: CN101368820A
• 公開（公告）日: 2009-02-18
• 發(fā)明（設計）人: 陳延偉;段桂芳;助川武史
• 申請（專利權）人: 株式會社瑞米克斯珀因特;學校法人立命館
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B11/02;G01B11/28;G01B11/26;G01B11/00
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產(chǎn)權代理有限責任公司
• 代理人: 余朦;方挺

技術領域

本發(fā)明涉及對用于在印刷線路板等上開孔的鉆頭進行檢查的鉆頭檢查裝置、鉆頭檢查方法及記錄了其程序的記錄媒體。

背景技術

隨著半導體加工工藝細微化的發(fā)展，在印刷線路板上開的孔被要求越來越高的精度。由于孔的大小或形狀在鉆頭刃尖的磨損或者缺損時將變化，因此必須檢查鉆頭的刃尖，根據(jù)需要進行研磨再利用、或者報廢。鉆頭的研磨或報廢的時間點一般根據(jù)開孔的個數(shù)進行判斷。

專利文獻1公開了通過對參照值和從鉆刃數(shù)據(jù)求得的值進行比較來判別好壞的手法。

【專利文獻1】特開平1-216752號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

在以孔數(shù)對鉆頭的研磨或報廢的時間點進行判斷的情況下，存在由于開孔基板的硬度或材質(zhì)等的不同而偏離本來的應該研磨或者報廢的時間點的情況。另外，在人為地對研磨或報廢的時間點進行判斷的情況下，需要熟練的檢查員，并且作業(yè)本身也很煩雜。

本發(fā)明是鑒于此情況而提出的，其目的在于提供能夠以簡單的處理準確地對鉆頭的狀態(tài)進行判定的鉆頭檢查裝置、鉆頭檢查方法及記錄了其程序的記錄媒體。

用于解決課題的手段

本發(fā)明某方式的鉆頭檢查裝置包括：測定部，其對拍攝的鉆頭刃尖圖像內(nèi)的刃尖區(qū)域的形狀信息進行測定；以及判定部，其根據(jù)由所述測定部測定的形狀信息對鉆頭刃尖的狀態(tài)進行判定。

另外，以上構成要素的任意組合、將本發(fā)明的表現(xiàn)在方法、裝置、系統(tǒng)、記錄媒體、計算機程序等之間進行交換，作為本發(fā)明的實施方式也是有效的。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠以簡單的處理準確地對鉆頭的狀態(tài)進行判定。

附圖說明

圖1是用于對鉆頭的生命周期上的階段進行說明的圖。

圖2A是對處于新品(研磨0次)未使用狀態(tài)的鉆頭的刃尖在沿旋轉(zhuǎn)軸的方向上進行拍攝的圖。

圖2B是對處于新品(研磨0次)已使用完狀態(tài)的鉆頭的刃尖進行拍攝的圖。

圖2C是對處于研磨一次后未使用狀態(tài)的鉆頭的刃尖進行拍攝的圖。

圖2D是對處于研磨一次后已使用完狀態(tài)的鉆頭的刃尖進行拍攝的圖。

圖2E是對處于研磨兩次后未使用狀態(tài)的鉆頭的刃尖進行拍攝的圖。

圖2F是對處于研磨兩次后已使用完狀態(tài)的鉆頭的刃尖進行拍攝的圖。

圖2G是對處于缺損狀態(tài)的鉆頭的刃尖進行拍攝的圖。

圖3是示出了本實施方式涉及的鉆頭檢查裝置的構成的圖。

圖4是用于對由包含刃尖區(qū)域的圖像確定的參數(shù)進行說明的圖。

圖5是在由刃尖區(qū)域的形狀信息規(guī)定的二元參數(shù)空間中標繪了采樣數(shù)據(jù)的圖。

圖6是用于說明根據(jù)開始點信息及結(jié)束點信息對鉆頭的磨損程度進行確定的第一處理例的圖。

圖7是示出了采樣數(shù)據(jù)的縱橫比(寬度/長度)和開孔數(shù)之間的關系的圖。

圖8是用于說明根據(jù)開始點信息及結(jié)束點信息對鉆頭的磨損程度進行確定的第二處理例的圖。

圖9是示出了顯示部顯示的鉆頭檢查結(jié)果畫面的一個例子的圖。

圖10是示出了本實施方式涉及的鉆頭檢查裝置的基本動作的流程圖。

圖11是示出了連接刀刃寬度的形狀曲線的圖。

圖12是示出了從連接刀刃寬度的形狀曲線求面積的情形的圖。

圖13是示出了從連接刀刃寬度的形狀曲線得到的面積的采樣數(shù)據(jù)的圖。

圖14是示出了顯示部顯示的、多個鉆頭的檢查結(jié)果畫面的一個例子的圖。

附圖標記的說明

1鉆頭、20攝像部、30運算部、34測定部35設定部、36存儲部、38判定部、40顯示部、100鉆頭檢查裝置

具體實施方式

首先，在詳細說明本發(fā)明的實施方式之前，對鉆頭的生命周期進行說明。鉆頭隨著使用次數(shù)的增多，各刀刃磨損，在沿著旋轉(zhuǎn)軸的方向上觀察到的刀刃寬度逐漸變細。當?shù)度心p到損害開孔的精度時，通過研磨使刃尖部分變鋒銳進行反復使用來進行延長鉆頭壽命的作業(yè)。由于這樣的研磨可以抑制費用，因此多數(shù)情況下在鉆頭報廢之前可以進行多次。從此觀點出發(fā)，鉆頭的生命周期根據(jù)研磨次數(shù)可以分為多個階段。另外，可以將實施了相同次數(shù)研磨的鉆頭分為能夠使用的狀態(tài)、和因磨損加劇而不應當使用的狀態(tài)。

圖1是用于對鉆頭的生命周期上的階段進行說明的圖。在圖1中，將研磨0次的狀態(tài)作為第一階段、將研磨一次的狀態(tài)作為第二階段以及將研磨兩次的狀態(tài)作為第三階段。在進一步進行研磨的情況下，階段進一步發(fā)展。以下，在本說明書中對三個階段的示例進行說明。另外，在本說明書中將第一階段、第二階段及第三階段的各前半部分稱為前半階段、各后半部分稱為后半階段。