[發(fā)明專利]半導(dǎo)體器件及其制造方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810096189.3
• 申請(qǐng)日: 2008-05-09
• 公開（公告）號(hào): CN101304004A
• 公開（公告）日: 2008-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李相熙;曹甲煥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東部高科股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/82
• 分類號(hào): H01L21/82;H01L27/146
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 余剛;尚志峰

1.一種用于制造半導(dǎo)體器件的方法，包括：

在預(yù)定的區(qū)域上形成多條虛擬網(wǎng)格線，其中，所述虛擬 網(wǎng)格線由在水平方向上延伸的第一線和第二線以及在垂直方 向上延伸的第三線和第四線組成；

在所述預(yù)定的區(qū)域上根據(jù)所述虛擬網(wǎng)格線之間的接觸規(guī) 律形成包括紅色(R)、綠色(G)、或藍(lán)色(B)圖樣的多個(gè) 圖樣，其中，所述接觸規(guī)律包括：

將位于第一線和第三線之間的交點(diǎn)處的每個(gè)圖樣設(shè)置成 藍(lán)色(B)圖樣；

將位于第二線和第四線之間的交點(diǎn)處的每個(gè)圖樣設(shè)置成 紅色(R)圖樣；

將位于第二線和第三線之間的交點(diǎn)處的每個(gè)圖樣設(shè)置成 綠色(G)圖樣；以及

將位于第一線和第四線之間的交點(diǎn)處的每個(gè)圖樣設(shè)置成 綠色(G)圖樣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，每條第一線包括綠-藍(lán)(GB) 線，每條第二線包括綠-紅(GR)線，每條第三線包括藍(lán)-綠 (BG)線，以及每條第四線包括紅-綠(RG)線。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述第一線和所述第二線 與所述第三線和所述第四線相交，其中，交點(diǎn)位于所述圖樣中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述圖樣包括濾色器的主 圖樣。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述圖樣包括濾色器的虛 擬圖樣。