[發(fā)明專利]臺(tái)裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810095603.9
• 申請(qǐng)日: 2008-04-29
• 公開（公告）號(hào): CN101459104A
• 公開（公告）日: 2009-06-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吉田達(dá)矢;中森靖仁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友重機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;G02F1/13;G02F1/1333;B23Q1/25;B23Q1/01
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 徐殿軍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具有在搭載有基板的基臺(tái)上沿一軸方向移動(dòng)的臺(tái)架部的臺(tái)裝置。

背景技術(shù)

以往，作為在液晶面板或半導(dǎo)體等的各種基板的制造等中使用的臺(tái)裝置，已知有例如在專利文獻(xiàn)1中公開的裝置。該臺(tái)裝置具備將罐部件以框狀連結(jié)而構(gòu)建的制罐構(gòu)造的基臺(tái)、設(shè)在基臺(tái)的兩側(cè)的一對(duì)導(dǎo)軌、沿著這些導(dǎo)軌被引導(dǎo)的一對(duì)引導(dǎo)滑塊、和橫架在一對(duì)引導(dǎo)滑塊之間的梁。梁沿著導(dǎo)軌移動(dòng)，通過搭載在該梁上的照相機(jī)及修理裝置等檢測(cè)基板的缺陷并將其修復(fù)。基臺(tái)經(jīng)由除振單元支承在架臺(tái)上。

在該臺(tái)裝置中，設(shè)有線纜托架。在梁上連結(jié)有供給用來控制梁自身及沿著梁移動(dòng)的滑塊的電力的電力線纜、及用來在與附設(shè)于滑塊上的處理裝置之間收發(fā)各種信號(hào)的信號(hào)線纜等。這些線纜經(jīng)由線纜托架配線。此時(shí)，為了減小寬度方向的尺寸，線纜托架配置在基臺(tái)的下方。并且，在線纜托架與梁之間設(shè)有連結(jié)部件，從線纜托架出來的線纜被梁引導(dǎo)。

【專利文獻(xiàn)1】日本特開2006-269509號(hào)公報(bào)

但是，在上述以往的臺(tái)裝置中，由于在基臺(tái)的下方配置有線纜托架，所以不能在該部分上配置除振單元或柱，設(shè)計(jì)的自由度降低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述情況而做出的，目的是提供一種能夠在對(duì)基臺(tái)下的構(gòu)造上提高設(shè)計(jì)的自由度的同時(shí)抑制大型化的臺(tái)裝置。

有關(guān)本發(fā)明的臺(tái)裝置，是具備基臺(tái)、在上述基臺(tái)上可沿一軸方向移動(dòng)地設(shè)置的臺(tái)架的臺(tái)裝置，其特征在于，具備：臺(tái)架支承臺(tái)，設(shè)置為向上述基臺(tái)的側(cè)方伸出，設(shè)置有沿著上述一軸方向延伸、引導(dǎo)上述臺(tái)架的移動(dòng)的導(dǎo)軌；和線纜托架，設(shè)在上述基臺(tái)的側(cè)方、上述臺(tái)架支承臺(tái)的下方，追隨上述臺(tái)架的移動(dòng)而變形。

這樣，由于在基臺(tái)的側(cè)方設(shè)置線纜托架，所以關(guān)于基臺(tái)下的構(gòu)造能夠提高設(shè)計(jì)的自由度。此外，通過將臺(tái)架支承臺(tái)設(shè)置為使其伸出到基臺(tái)的側(cè)方，能夠減小基臺(tái)的寬度、并且將線纜托架設(shè)在基臺(tái)的側(cè)方、臺(tái)架支承臺(tái)的下方，所以能夠抑制大型化。

其特征也可以是，上述線纜托架是支承與上述臺(tái)架連接的線纜的部件；在上述臺(tái)架與上述線纜托架之間設(shè)有引導(dǎo)上述線纜的聯(lián)絡(luò)部件；上述聯(lián)絡(luò)部件與上述線纜托架之間的連結(jié)點(diǎn)位于構(gòu)成與上述臺(tái)架對(duì)置的上述基臺(tái)的框體的側(cè)方。如果如以往技術(shù)那樣將線纜托架配置在基臺(tái)的下方，則設(shè)在線纜托架與臺(tái)架之間的聯(lián)絡(luò)部件變長，容易產(chǎn)生振動(dòng)，干擾有可能變大。相對(duì)于此，通過如上述那樣構(gòu)成，能夠縮短聯(lián)絡(luò)部件的長度而抑制振動(dòng)的產(chǎn)生，抑制干擾帶來的影響。

其特征也可以是，在上述臺(tái)架支承臺(tái)的下面與上述基臺(tái)的側(cè)面之間設(shè)有加強(qiáng)筋。如果這樣，則能夠提高臺(tái)架支承臺(tái)的剛性。

其特征也可以是，上述基臺(tái)具有用來將該基臺(tái)沿水平方向分割為多個(gè)塊的分割部。如果這樣，則即使隨著基板的大型化而基臺(tái)大型化，也能夠不使用特殊的大型車輛而將基臺(tái)分割輸送。

其特征也可以是，在上述臺(tái)架支承臺(tái)的下表面與上述基臺(tái)的側(cè)面之間設(shè)有加強(qiáng)筋；上述基臺(tái)具有用來將該基臺(tái)沿水平方向分割為多個(gè)塊的分割部；上述分割部處的上述塊彼此的連結(jié)經(jīng)由上述加強(qiáng)筋構(gòu)成。通過這樣經(jīng)由加強(qiáng)筋連結(jié)，能夠?qū)K彼此牢固且容易地連結(jié)。此外，在以往的臺(tái)構(gòu)造的情況下，需要設(shè)計(jì)為如果想要分割則使用來連結(jié)的凸緣向臺(tái)的側(cè)面凸出，有橫向的尺寸變大的問題，但在本實(shí)施方式中，由于能夠抑制加強(qiáng)筋伸出到比伸出片更靠側(cè)方，所以能夠抑制大型化。

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供在對(duì)基臺(tái)下的構(gòu)造提高設(shè)計(jì)的自由度的同時(shí)抑制大型化的臺(tái)裝置。

附圖說明

圖1是表示有關(guān)本發(fā)明的第1實(shí)施方式的臺(tái)裝置的立體圖。

圖2是從上方觀察圖1的臺(tái)裝置具備的基臺(tái)的立體圖。

圖3是從下方觀察基臺(tái)的立體圖。

圖4是連結(jié)有連結(jié)部件的基臺(tái)的下部框架支承在除振單元上的狀態(tài)的立體圖。

圖5是將工件模座設(shè)置在圖1所示的臺(tái)裝置的立體圖。

圖6是表示分割部的正視圖。

圖7是表示線纜托架的配置的部分放大圖。

圖8是圖1所示的臺(tái)裝置的側(cè)視圖。

圖9是表示分割部的變形例的圖。

圖10是表示有關(guān)本發(fā)明的第2實(shí)施方式的臺(tái)裝置的立體圖。

圖11是從上方觀察圖10的臺(tái)裝置具備的基臺(tái)的立體圖。

圖12是從下方觀察基臺(tái)的立體圖。

圖13是從上方觀察分割了基臺(tái)的后側(cè)的塊的立體圖。

圖14是表示連結(jié)了連結(jié)部件的基臺(tái)的下部框架的立體圖。

圖15是表示架臺(tái)和除振單元的立體圖。

圖16是表示線纜托架的配置的部分放大圖。

圖17是圖10所示的臺(tái)裝置的側(cè)視圖。

具體實(shí)施方式