[發(fā)明專利]固態(tài)圖像捕獲裝置和電子信息裝置無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810095153.3 | 申請(qǐng)日: | 2008-02-15 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101262003A | 公開(公告)日: | 2008-09-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 河村智彥 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 夏普株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H01L27/146 | 分類號(hào): | H01L27/146;H01L21/76 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 張雪梅;劉春元 |
| 地址: | 日本大阪*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 固態(tài) 圖像 捕獲 裝置 電子信息 | ||
1.一種固態(tài)圖像捕獲裝置,該固態(tài)圖像捕獲裝置中每一個(gè)都用于將入射光轉(zhuǎn)換為信號(hào)電荷的多個(gè)光接收器件二維排列,通過光接收器件處的轉(zhuǎn)換獲得的信號(hào)電荷通過電荷轉(zhuǎn)移器件轉(zhuǎn)移到電壓轉(zhuǎn)換部件,并且根據(jù)在電壓轉(zhuǎn)換部件處的轉(zhuǎn)換獲得的信號(hào)電壓而放大的信號(hào)被讀取,
其中
將器件隔離絕緣膜和器件隔離半導(dǎo)體層提供給器件隔離部以將相鄰的器件彼此隔離,
器件隔離絕緣膜的端部和器件隔離半導(dǎo)體層的端部設(shè)置成彼此重疊,以便包圍電壓轉(zhuǎn)換部件的外圍的兩側(cè),以及包圍電荷轉(zhuǎn)移器件的溝道部分和光接收器件,以及
相對(duì)于光接收器件側(cè)的控制電極的端面,面對(duì)光接收器件的端面的器件隔離絕緣膜的端部設(shè)置在控制電極下面靠里,或者,面對(duì)光接收器件的端面的器件隔離絕緣膜的端部設(shè)置為突出部分,該突出部分延伸超出光接收器件側(cè)的控制電極的端面下的部分,并且沿著光接收器件外圍的邊突出。
2.一種固態(tài)圖像捕獲裝置,其中每一個(gè)用于把入射光轉(zhuǎn)換為信號(hào)電荷的多個(gè)光接收器件二維排列,通過光接收器件的轉(zhuǎn)換獲得的信號(hào)電荷通過電荷轉(zhuǎn)移器件轉(zhuǎn)移到電壓轉(zhuǎn)換部件,并且根據(jù)在電壓轉(zhuǎn)換部件處的轉(zhuǎn)換獲得的信號(hào)電壓而放大的信號(hào)被讀取,
其中
器件隔離絕緣膜和器件隔離半導(dǎo)體層提供給器件隔離部以將相鄰的器件彼此隔離,
該器件隔離絕緣膜的端部和該器件隔離半導(dǎo)體層的端部設(shè)置成彼此重疊,以便包圍電壓轉(zhuǎn)換部件的外圍的兩側(cè),以及包圍電荷轉(zhuǎn)移器件的溝道部分和光接收器件,以及
沿著該電壓轉(zhuǎn)換部件的外圍的兩側(cè)延伸的器件隔離絕緣膜在其寬度方向全部或部分地設(shè)置在電荷轉(zhuǎn)移器件的控制電極兩端下,或者,器件隔離絕緣膜在其寬度方向全部或部分地設(shè)置為突出部分,該突出部分沿著電壓轉(zhuǎn)換部件的外圍的兩側(cè)延伸、延伸超出控制電極各端下的部分并且沿著光接收器件的外圍突出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的固態(tài)圖像捕獲裝置,其中該電荷轉(zhuǎn)移器件的控制電極的兩端設(shè)置在器件隔離絕緣膜和器件隔離半導(dǎo)體層中每一個(gè)的全部或部分寬度上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2的固態(tài)圖像捕獲裝置,其中像素部包括:光接收器件和電荷轉(zhuǎn)移器件,在平面視圖上具有正方形形狀或矩形形狀的像素部的角部,保持成使得電荷轉(zhuǎn)移晶體管的控制電極以傾斜方式設(shè)置在平面視圖上具有正方形形狀或矩形形狀的該像素部的角部的相鄰邊上,光接收器件設(shè)置在該像素部中除該角部和控制電極區(qū)域之外,電壓轉(zhuǎn)換部件設(shè)置在該角部或包括該角部的區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的固態(tài)圖像捕獲裝置,其中兩個(gè)像素部被排列為角部彼此相鄰,該兩個(gè)像素部的角部以集成的方式彼此耦合,所述角部彼此耦合的區(qū)域形成單個(gè)電壓轉(zhuǎn)換部件,并且該電壓轉(zhuǎn)換部件被該兩個(gè)像素部共享。
6.根據(jù)權(quán)利要求4的固態(tài)圖像捕獲裝置,其中四個(gè)像素部被排列為角部彼此相鄰,該四個(gè)像素部的角部以集成的方式彼此耦合,所述角部彼此耦合的區(qū)域形成單個(gè)電壓轉(zhuǎn)換部件,并且該電壓轉(zhuǎn)換部件被該四個(gè)像素部共享。
7.根據(jù)權(quán)利要求4的固態(tài)圖像捕獲裝置,其中四個(gè)像素部被排列為角部彼此相鄰,該四個(gè)像素部中的兩個(gè)像素部的角部以集成的方式分別與另兩個(gè)像素部的角部耦合,所述兩個(gè)像素部彼此耦合的一個(gè)區(qū)域和所述另兩個(gè)像素部彼此耦合的另一個(gè)區(qū)域,分別形成一個(gè)電壓轉(zhuǎn)換部件和另一個(gè)電壓轉(zhuǎn)換部件,所述兩個(gè)像素部共享所述一個(gè)電壓轉(zhuǎn)換部件,所述另兩個(gè)像素部共享所述另一個(gè)電壓轉(zhuǎn)換部件,并且器件隔離絕緣膜設(shè)置在所述一個(gè)電壓轉(zhuǎn)換部件和所述另一個(gè)電壓轉(zhuǎn)換部件之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2的固態(tài)圖像捕獲裝置,其中該器件隔離絕緣膜的端部至少位于這樣的區(qū)域內(nèi),在該區(qū)域中在控制電極下方產(chǎn)生的電場在從控制電極下方的部分到電壓轉(zhuǎn)換部件的方向上產(chǎn)生。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的固態(tài)圖像捕獲裝置,其中考慮到在所述區(qū)域中器件隔離絕緣膜的尺寸,該器件隔離絕緣膜以最大工藝?yán)寐市纬蔀榫哂凶钚〕叽纭?/p>
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2的固態(tài)圖像捕獲裝置,其中該器件隔離絕緣膜的該端部至少通過一區(qū)域遠(yuǎn)離該光接收器件的所述端面定位,在該區(qū)域中在控制電極下方產(chǎn)生的電場在從控制電極下方的部分到該光接收器件的方向上產(chǎn)生。
11.根據(jù)權(quán)利要求1或2的固態(tài)圖像捕獲裝置,其中該突出部分的突出長度是與該光接收器件一邊的方向?qū)?yīng)的該控制電極的切割長度或短于該切割長度。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個(gè)躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對(duì)紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的;包括有熱磁組件的
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