[發明專利]激光修復系統

無效

• 申請號: 200810095142.5
• 申請日: 2008-02-22
• 公開（公告）號: CN101265022A
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發明（設計）人: 孫東一;金德星;趙圣行;宋源喜;鄭昌赫
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: C03B33/09
• 分類號: C03B33/09;C03C23/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 魏曉剛

1、一種激光修復系統，包括：

產生激光的激光振蕩器；以及

狹縫單元，所述激光照射到所述狹縫單元上，該狹縫單元包括共同限定激光通過區域的第一激光阻擋部件和第二激光阻擋部件。

2、如權利要求1所述的系統，其中所述第一激光阻擋部件包括具有分別限定所述激光通過區域第一邊和第二邊的第一和第二邊緣的第一和第二光阻擋元件，并且所述第二激光阻擋部件包括具有分別限定所述激光通過區域第三邊和第四邊的第三和第四邊緣的第三和第四光阻擋元件。

3、如權利要求2所述的系統，其中所述光阻擋元件中的至少一個包括至少一個孔，該孔鄰近限定所述光通過區域的一個邊的所述光阻擋元件的所述邊緣。

4、如權利要求2所述的系統，其中多個激光阻擋元件包括一個孔，該孔鄰近限定所述第一激光通過區域的各邊的各個邊緣。

5、如權利要求2所述的系統，其中至少一個所述激光阻擋元件的所述邊緣包括曲線圖案。

6、如權利要求5所述的系統，其中所述曲線圖案選自包括矩形、鋸齒形和圓形的組中。

7、如權利要求3所述的系統，其中所述至少一個孔包括多個孔。

8、如權利要求7所述的系統，其中所述多個孔是矩形孔或圓孔。

9、如權利要求8所述的系統，其中所述矩形孔中的一個具有與另一個所述矩形孔不同的面積。

10、如權利要求2所述的系統，其中至少一個光阻擋元件的邊緣包括半透射部分，所述半透射部分允許部分照射在所述半透射部分的激光通量部分通過。

11、如權利要求10所述的系統，其中所述半透射部分由半透射玻璃或具有足以提供半透射特性的厚度的金屬組成。

12、如權利要求2所述的系統，其中所述狹縫單元還包括用于改變所述第一激光阻擋部件和第二激光阻擋部件位置的驅動部件。

13、如權利要求12所述的系統，其中所述驅動部件包括：

與所述第一激光阻擋部件相連接以沿第一方向移動所述第一和第二光阻擋元件的第一驅動部件；以及

與所述第二激光阻擋部件相連接以沿第二軸方向移動所述第三和第四光阻擋元件的第二驅動部件。

14、一種激光修復系統，包括：

產生激光的激光振蕩器；以及

狹縫單元，所述激光照射到所述狹縫單元上，該狹縫單元包括激光阻擋部件和第一狹縫部件，

其中，所述狹縫單元的所述激光阻擋部件不透射入射到其上的激光，并且

所述第一狹縫部件透射并過濾入射到其上的激光，使得透射的激光功率具有預期的分布。

15、如權利要求14所述的系統，其中所述第一狹縫部件是以多邊形形狀形成的，使得一邊的寬度不同于相對邊的寬度。

16、如權利要求14所述的系統，其中所述激光阻擋部件包括：

限定第一開口的第一激光阻擋部件，和

限定第二開口的第二激光阻擋部件，以及

其中所述第一和第二激光阻擋部件設置得相互交叉，

所述第一狹縫部件包括所述第一和第二開口的交疊區域，并且

所述第一和第二開口中的至少一個具有變化的寬度。

17、如權利要求16所述的系統，其中所述第一激光阻擋部件包括第一平板和與所述第一平板相間隔的第二平板，

所述第二激光阻擋部件包括第三平板和與該第三平板相間隔的第四平板，并且

所述第一和第二平板被相互傾斜地設置在同一平面內。

18、如權利要求17所述的系統，其中所述第三和第四平板被相互傾斜地設置在同一平面內。

19、如權利要求17所述的系統，其中所述狹縫單元還包括第二狹縫部件，

該第二狹縫部件在所述激光阻擋部件中形成，并且

從所述第二狹縫部件透射的光的通量小于從所述第一狹縫部件透射的光的通量。

20、如權利要求18所述的系統，其中所述狹縫單元還包括用于改變所述第一激光阻擋部件和第二激光阻擋部件位置的驅動部件。