[發明專利]可變濾波器元件、可變濾波器模塊及其制造方法

有效

• 申請號: 200810094844.1
• 申請日: 2008-04-28
• 公開（公告）號: CN101295809A
• 公開（公告）日: 2008-10-29
• 發明（設計）人: 宓曉宇;島內岳明;今井雅彥;上田知史;佐藤良夫
• 申請（專利權）人: 富士通株式會社
• 主分類號: H01P1/203
• 分類號: H01P1/203;H01P11/00;H03H7/12
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 張龍哺;馮志云

1.一種可變濾波器元件，包括：

襯底；

所述襯底上的兩條地線和位于所述襯底上的兩條地線之間的信號線，其 中所述襯底上的地線和所述信號線被設置為在所述襯底上平行延伸；

可移動電容器電極，其橋接在所述襯底上的兩條地線之間，并具有面對 所述信號線的部分；

驅動電極，其位于所述信號線和所述襯底上的地線之間，并對所述可移 動電容器電極產生靜電引力；以及

所述襯底中的地線，其被設置在所述襯底中，具有面對所述信號線的部 分，并電連接所述襯底上的兩條地線；

其中所述信號線與所述襯底上的地線結合構成第一電容，所述信號線與 所述可移動電容器電極結合構成第二電容，以及所述信號線與所述襯底中的 地線結合構成第三電容，

其中所述襯底上的地線、所述可移動電容器電極和所述襯底中的地線構 成地互連部，

其中所述信號線和所述地互連部構成分布常數傳輸線，所述分布常數傳 輸線具有所述第一電容、第二電容和第三電容的總電容。

2.一種可變濾波器元件，包括：

襯底；

多條信號線，其被設置為在所述襯底上平行延伸；

可移動電容器電極，其在所述襯底上突出，并具有面對所述信號線的部 分；

驅動電極，其形成在所述襯底上，并對所述可移動電容器電極產生靜電 引力；以及

襯底中的地線，其被設置在所述襯底中，具有面對所述信號線的部分， 并電連接所述可移動電容器電極；

其中所述信號線與所述可移動電容器電極結合構成第一電容，以及所述 信號線與所述襯底中的地線結合構成第二電容，

其中所述可移動電容器電極和所述襯底中的地線構成地互連部，

其中所述信號線和所述地互連部構成分布常數傳輸線，所述分布常數傳 輸線具有所述第一電容和第二電容的總電容。

3.如權利要求1或2所述的可變濾波器元件，其中，在所述信號線上還 包括電介質部分。

4.如權利要求1或2所述的可變濾波器元件，其中所述襯底為具有分層 結構的多層互連襯底，該分層結構包括多個絕緣層和位于各絕緣層之間的互 連圖案。

5.一種可變濾波器元件，包括多個如權利要求1或2所述的可變濾波器 元件，其中所述多個可變濾波器元件串聯或并聯設置。

6.一種可變濾波器模塊，包括：如權利要求1或2所述的可變濾波器元 件，以及設置在所述襯底上的多個無源元件。

7.一種可變濾波器元件的制造方法，用于制造如權利要求1或2所述的 可變濾波器元件；該方法包括如下步驟：

制造具有多個可變濾波器元件形成塊的互連襯底晶片，每個所述可變濾 波器元件形成塊包括所述襯底中的地線；

在所述多個可變濾波器元件形成塊的每一個形成塊中，于所述互連襯底 晶片上形成至少一條信號線、驅動電極和可變電容器電極；以及

分割所述互連襯底晶片。

8.一種可變濾波器模塊的制造方法，用于制造如權利要求6所述的可變 濾波器模塊；該方法包括如下步驟：

制造具有多個可變濾波器模塊形成塊的互連襯底晶片，每個所述濾波模 塊形成塊包括所述襯底中的地線；

在所述多個可變濾波器模塊形成塊的每一個形成塊中，于所述互連襯底 晶片上形成至少一條信號線、驅動電極和可變電容器電極、和多個無源元件 組；以及

分割所述互連襯底晶片。