[發(fā)明專利]流量傳感器及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200810092873.4 | 申請日： | 2008-05-07 |
| 公開（公告）號： | CN101393045A | 公開（公告）日： | 2009-03-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | 池信一;畠山洋志;土屋誠志 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社山武 |
| 主分類號： | G01F1/684 | 分類號： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 陳 堅 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 流量傳感器 及其 制造 方法 | ||
1.一種流量傳感器，其是將傳感器芯片和流道形成部件接合起來而構(gòu)成的流量傳感器，其中，上述傳感器芯片在絕緣膜上形成有流量檢測部，上述絕緣膜在基板的上表面上以覆蓋形成于該基板的上表面上的凹部的至少一部分的方式被覆而成；上述流道形成部件設置在上述傳感器芯片上，在該流道形成部件上形成有流過上述流量檢測部的流體的流道，其特征在于，
上述流道形成部件通過將第一流道形成部件、以及第二流道形成部件接合起來而構(gòu)成，所述第一流道形成部件是透明部件，
上述第一流道形成部件構(gòu)成為板狀，在該第一流道形成部件上設置有被測定流體的導入孔和導出孔，
上述第二流道形成部件構(gòu)成為板狀，在該第二流道形成部件上設置有貫通口，該貫通口形成沿著流體的流動的流道，該流體沿著上述流量檢測部流動，
上述貫通口的兩端分別與上述導入孔和導出孔連通，上述流量檢測部配置在上述貫通口的與上述導入孔和導出孔對應的部分之間，
利用上述第一和第二流道形成部件來形成預定截面積的流道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量傳感器，其特征在于，
上述第二流道形成部件由熱膨脹系數(shù)與上述傳感器芯片相同或大致接近的部件形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流量傳感器，其特征在于，
上述第二流道形成部件由硅或硼硅酸鹽玻璃中的任一種形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流量傳感器，其特征在于，
上述第一流道形成部件由硼硅酸鹽玻璃形成。
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