[發(fā)明專利]化學(xué)藥品供給裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810092455.5
• 申請日: 2008-04-11
• 公開（公告）號: CN101286446A
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙康一
• 申請（專利權(quán)）人: K.C.科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 韓明星;金玉蘭

1、一種化學(xué)藥品供給裝置，其特征在于包括：

用于灌入藥液的容器罐；

緩沖器，其下部設(shè)有用于接收所述容器罐內(nèi)的藥液后向半導(dǎo)體裝備輸送的排出閥，在上部形成用于向外部排出包含于所述藥液里的氣泡的氣泡排氣閥；

殘量測定裝置，以用于測定所述容器罐內(nèi)藥液的殘量；及

體積可變裝置，以用于當(dāng)利用所述殘量測定裝置進(jìn)行的測定結(jié)果為容器罐內(nèi)的藥液殘量在基準(zhǔn)值以下時，使緩沖器內(nèi)藥液的收容空間收縮及膨脹，從而吸入容器罐內(nèi)的藥液。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥品供給裝置，其特征在于所述容器罐的內(nèi)部具有灌入藥液的藥液袋，所述化學(xué)藥品供給裝置具有為了提高所述容器罐的內(nèi)部壓力而壓縮所述藥液袋的加壓泵。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥品供給裝置，其特征在于所述緩沖器設(shè)有水位傳感器，以用于測定灌入的藥液的水位。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥品供給裝置，其特征在于所述體積可變裝置包括：

分別設(shè)置于緩沖器的內(nèi)部左右側(cè)的膜部件，該膜部件為了能夠任意收縮膨脹形成于膜部件之間的收容空間而向左右方向進(jìn)行收縮膨脹動作；和

可變致動器，以用于使所述膜部件進(jìn)行收縮膨脹動作。

5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)藥品供給裝置，其特征在于在所述膜部件使用隔膜、褶皺管及橡膠板中的某一個。

6、根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)藥品供給裝置，其特征在于所述膜部件制作成球體形狀，并在所述球體的下部連接輸送管，上部連接氣泡排氣閥，而連接著所述輸送管的一側(cè)連接排出閥。

7、根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)藥品供給裝置，其特征在于所述可變致動器使用加/減壓泵或汽缸。

8、根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)藥品供給裝置，其特征在于當(dāng)容器罐內(nèi)藥液的殘量在基準(zhǔn)值以下時，所述可變致動器進(jìn)行減壓驅(qū)動。

9、根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學(xué)藥品供給裝置，其特征在于所述殘量基準(zhǔn)值為100～500cc。

10、根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥品供給裝置，其特征在于根據(jù)所述體積可變裝置的真空吸入速度為小于10cc/s的流速。

11、根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)藥品供給裝置，其特征在于所述殘量測定裝置使用設(shè)在容器罐底面的測壓元件或設(shè)在輸送管的壓力傳感器，其中，所述測壓元件用于檢測容器罐的重量變化。