[發(fā)明專利]激光輻照裝置、激光輻照方法、以及半導(dǎo)體器件制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810092402.3
• 申請日: 2002-08-02
• 公開（公告）號: CN101256947A
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田中幸一郎
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社半導(dǎo)體能源研究所
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/20;H01L21/268;C30B13/24;B23K26/06;B23K26/067;B23K26/073;B23K26/10
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 王慶海;王小衡

1.一種激光輻照裝置，它包含：

多個激光器；

隔離器；

用來將多個激光束在輻照表面上的形狀形成為橢圓形或矩形的裝置；以及

用來沿第一方向和與第一方向相反的方向移動多個激光束在輻照表面上的輻照位置，并沿第二方向移動多個激光束在輻照表面上的輻照位置的裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的激光輻照裝置，其中用來將多個激光束在輻照表面上的形狀形成為橢圓形或矩形的裝置具有凸透鏡、柱形透鏡、或光柵。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的激光輻照裝置，其中用來移動多個激光束在輻照表面上的輻照位置的裝置是一種平臺。

4.根據(jù)權(quán)利要求1的激光輻照裝置，其中激光器是連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的固體激光器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的激光輻照裝置，其中激光器是選自連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的YAG激光器、YVO₄激光器、YLF激光器、YAlO₃激光器、玻璃激光器、紅寶石激光器、變藍(lán)寶石激光器、摻Ti的藍(lán)寶石激光器的一種或多種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1的激光輻照裝置，其中激光器是選自Ar激光器和Kr激光器的一種或多種。

7.一種激光輻照裝置，它包含：

一個激光器；

用來將激光器發(fā)射的激光束分割成多個激光束的光束分裂器；

相對多個激光束傾斜地安置的輻照表面；

用來將多個激光束在輻照表面上的形狀形成為橢圓形或矩形的多個透鏡；以及

用來移動多個激光束在輻照表面上的輻照位置的平臺。

8.根據(jù)權(quán)利要求7的激光輻照裝置，其中激光器是連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的固體激光器。

9.根據(jù)權(quán)利要求7的激光輻照裝置，其中激光器是選自連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的YAG激光器、YVO₄激光器、YLF激光器、YAlO₃激光器、玻璃激光器、紅寶石激光器、變藍(lán)寶石激光器、摻Ti的藍(lán)寶石激光器的一種或多種。

10.根據(jù)權(quán)利要求7的激光輻照裝置，其中激光器是選自Ar激光器和Kr激光器的一種或多種。

11.一種激光輻照裝置，它包含：

多個激光器；

相對于多個激光束傾斜地安置的襯底的輻照表面；

與輻照表面相對地提供的板；以及

用來移動多個激光束在輻照表面上的輻照位置的裝置，

其中多個激光束的每一個都入射到襯底，然后通過襯底傳輸，并在板上被反射，且再次入射到襯底。

12.根據(jù)權(quán)利要求11的激光輻照裝置，其中板是反射板。

13.根據(jù)權(quán)利要求11的激光輻照裝置，其中用來移動多個激光束在輻照表面上的輻照位置的裝置是一種平臺。

14.根據(jù)權(quán)利要求11的激光輻照裝置，其中激光器是連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的固體激光器。

15.根據(jù)權(quán)利要求11的激光輻照裝置，其中激光器是選自連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的YAG激光器、YVO₄激光器、YLF激光器、YAlO₃激光器、玻璃激光器、紅寶石激光器、變藍(lán)寶石激光器、摻Ti的藍(lán)寶石激光器的一種或多種。

16.根據(jù)權(quán)利要求11的激光輻照裝置，其中激光器是選自Ar激光器和Kr激光器的一種或多種。

17.一種激光輻照方法，它包含：

用光學(xué)系統(tǒng)將多個激光束在輻照表面上的形狀形成為橢圓形或矩形；

在輻照表面沿第一方向移動的同時，發(fā)射多個激光束；

沿第二方向移動輻照表面；以及

在輻照表面沿與第一方向相反的方向移動的同時，發(fā)射多個激光束。

18.根據(jù)權(quán)利要求17的激光輻照方法，其中凸透鏡、柱形透鏡、或光柵被用作光學(xué)系統(tǒng)。

19.根據(jù)權(quán)利要求17的激光輻照方法，其中多個激光束由連續(xù)振蕩或脈沖振蕩的固體激光器振蕩。