[發明專利]放射線檢測元件及其制造方法

有效

• 申請號: 200810092361.8
• 申請日: 1998-02-12
• 公開（公告）號: CN101285888A
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發明（設計）人: 本目卓也;高林敏雄;佐藤宏人
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01T1/20
• 分類號: G01T1/20;G01T1/24
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉春成

1.一種放射線檢測元件，包括：

受光元件陣列，其多個受光元件在基板上呈一維或二維排列形成其受光單元，并將與所述受光單元的各行或各列的所述受光元件電連接的多個焊盤配置在所述受光單元的外部；

閃爍器層，該閃爍器層在所述受光元件上層積形成，把放射線轉換成可見光；

放射線可通過的耐濕保護膜，它由至少包含有機膜和在其上沉積的無機膜的兩層以上的多層膜組成，在覆蓋了閃爍器層的同時使所述受光元件陣列的所述焊盤部分露出；以及

覆蓋樹脂，沿所述耐濕保護膜和受光元件陣列露出部分的邊界(即邊緣)用所述覆蓋樹脂涂敷耐濕保護膜，使所述耐濕保護膜的邊緣密合在所述受光元件陣列上。

2.如權利要求1所述的放射線檢測元件，其特征在于：

所述焊盤位于所述基板的外周邊處，所述耐濕保護膜在所述受光單元的外緣和所述受光元件陣列的外緣之間覆蓋形成，所述覆蓋樹脂涂敷在所述耐濕保護膜的外周部分。

3.一種放射線檢測元件的制造方法，包括下列步驟：

在受光元件陣列的受光元件上層積形成把放射線轉換成可見光的閃爍器層，其中，將多個所述受光元件在基板上呈一維或二維排列地形成所述受光元件陣列的受光單元，并將與所述受光單元的各行或各列受光元件電連接的多個焊盤配置在所述受光單元的外部；

形成放射線可通過的第一有機膜，使其包覆整個所述受光元件陣列；

在所述第一有機膜上沉積包含無機膜的一層以上的膜，形成由兩層以上的多層膜組成的放射線可通過的耐濕保護膜；

將所述閃爍器層的外側的，即至少將包覆所述焊盤的那部分耐濕保護膜切開除去，至少使所述受光元件陣列的包含上述焊盤的區域露出來；

沿所述耐濕保護膜與所述受光元件陣列的露出部分的邊界(即邊緣)用樹脂涂敷所述耐濕保護膜，使所述耐濕保護膜的邊緣密合在所述受光元件陣列上。

4.一種放射線檢測元件的制造方法，包括下列步驟：

在受光元件陣列的所述受光元件上層積形成把放射線轉換成可見光的閃爍器層，其中，將多個受光元件在基板上呈一維或二維排列形成其受光單元，將與所述受光單元的各行或各列的所述受光元件電連接的多個焊盤配置在所述基板的外周邊部；

形成放射線可通過的第一有機膜，使其包覆所述受光元件陣列整體；

在所述第一有機膜上淀積包含無機膜的一層以上的膜，形成由兩層以上的多層膜組成的放射線可通過的耐濕保護膜；

在所述閃爍器層的外周和所述焊盤部分之間的位置沿所述閃爍器層外周把所述耐濕保護膜切開，將在該切開面以外以及入射面內側形成的所述耐濕保護膜除去，使所述焊盤露出；

用樹脂涂敷被切開的所述耐濕保護膜的外周部分，使所述耐濕保護膜的外周部分密合在所述受光元件陣列上。