[發明專利]使用了分光器的相位差測量裝置

無效

• 申請號: 200810091804.1
• 申請日: 2008-04-03
• 公開（公告）號: CN101281091A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 網盛一郎;小畑史生;高橋弘毅
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G02F1/13;G01N21/17
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 徐冰冰

1.一種相位差測量裝置，其包括依次配置有光源、偏振器、試樣臺、檢偏器和分光器的光學系統以及計算單元，在偏振器與檢偏器之間配置有波長板，并且在測量波長區域內的2個以上的波長的每一個中，用0.5以上的整數或半整數去除該波長板的延遲值后的值與該波長一致。

2.如權利要求1所述的相位差測量裝置，上述分光器的用FWHM定義的分辨率F與上述整數或半整數能夠獲取的最大值n1滿足以下條件(B)：

(B)F×n1≤50nm。

3.如權利要求1或2所述的相位差測量裝置，上述波長板的延遲值在上述測量波長區域的下限波長λmin為3×λmin以上。

4.如權利要求1～3中的任一項所述的相位差測量裝置，上述波長板具備相對于光軸插入和退避的機構。

5.如權利要求1～4中的任一項所述的相位差測量裝置，上述分光器為包括衍射光柵和一維受光陣列的多通道分光器。

6.一種根據依次配置有光源、偏振器、試樣、檢偏器和分光器的光學系統中測量到的分光光譜來確定該試樣的相位差的方法，包括以下過程：選擇在測量波長區域λmin～λmax中存在2個以上的波長λ^x的波長板，所述波長λ^x與0.5以上的整數或半整數n^x的積λ^xn^x表示波長板的延遲值；將該波長板配置到偏振器與檢偏器之間。

7.如權利要求6所述的方法，在測量分光光譜時使上述波長板與試樣的光學軸一致或正交。