[發明專利]薄膜晶體管、主動陣列基板及其制造方法

有效

• 申請號: 200810090659.5
• 申請日: 2008-04-07
• 公開（公告）號: CN101257049A
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發明（設計）人: 林漢涂;楊智鈞;廖金閱;陳建宏
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L27/12;H01L23/522;H01L21/336;H01L21/84;H01L21/768;G02F1/1362
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司
• 代理人: 梁揮;祁建國

技術領域

本發明是有關于一種主動陣列基板及其制造方法，特別是關于一種具有導線埋入基底的結構的主動陣列基板。

背景技術

針對多媒體社會的急速進步，多半受惠于半導體組件或顯示裝置的飛躍性進步。就顯示器而言，具有高畫質、空間利用效率佳、低消耗功率、無輻射等優越特性的薄膜晶體管液晶顯示器(Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display，TFT-LCD)已逐漸成為市場的主流。

薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)主要由薄膜晶體管陣列、彩色濾光片和液晶層所構成，其中薄膜晶體管陣列是由多個陣列排列的薄膜晶體管以及與每一個薄膜晶體管對應配置的象素電極(pixel?electrode)所組成。而薄膜晶體管用來作為液晶顯示單元的開關組件。此外，為了控制個別的象素單元，通常會經由掃描配線(scan?line)與數據配線(date?line)以選取特定的象素，并藉由提供適當的操作電壓，以顯示對應此象素的顯示數據。

隨著將薄膜晶體管液晶顯示器的尺寸設計成越來越大，阻容遲滯(RC?delay)的問題便越來越嚴重，故低阻值的導線使用的研究便逐漸成為趨勢。其中以銅導線的開發最為受重視，但是在使用銅導線的工藝會產生諸多問題，例如：(1)銅與玻璃間有附著性問題；(2)在對銅進行蝕刻工藝時，會有銅殘留或邊角度(taper)不佳等問題；(3)在進行銅導線上光阻的去光阻工藝時，銅導線易受去光阻劑的侵蝕；以及(4)銅的擴散問題，譬如是垂直方向穿刺或是平行方向延伸等問題。

此外，薄膜晶體管液晶顯示器的主動陣列基板，由多層層體組成且目前如何薄型化薄膜晶體管液晶顯示器也為另一趨勢，故如何薄型化薄膜晶體管液晶顯示器為另一個研討的議題。

發明內容

本發明提供一種薄膜晶體管，具有一柵極，該柵極與基底之間具有較佳的附著性，其中該基底具有一凹槽以容納該柵極。

本發明提供一種薄膜晶體管，具有一源極及漏極，源極及漏極的材質舉例為銅、鉬、鈦、鉻或上述組合，位于該源極及/或漏極上的一保護層具有開口，使得不連續的導體層經由該開口與該源極及/或漏極接觸，該導體層的材質舉例為銅、銀、鋁或上述組合。

本發明提供一種薄膜晶體管，包括：一基底，具有一凹槽；一柵極，位于該凹槽內；一柵絕緣層，位于該柵極上，其中至少部份該柵絕緣層位于該凹槽內；一通道層，位于該柵絕緣層上；以及一源極以及一漏極，位于該通道層上并分別對應該柵極的兩側。

本發明提供一種主動陣列基板，包括上述薄膜晶體管。

本發明提供一種制造薄膜晶體管的方法，包括：提供一基底；形成一圖案化光阻層于該基底上，該圖案化光阻層具有一開口；以該圖案化光阻層為屏蔽，蝕刻該基底以形成一凹槽；全面形成一導體材料層于該圖案化光阻層以及該基底上；去除位于該圖案化光阻層上的該導體材料層；去除該圖案化光阻層；形成一柵極于該凹槽內；形成一柵絕緣層于該柵極上，其中至少部份該柵絕緣層位于該凹槽內；形成一通道層于該柵絕緣層上；以及形成一源極以及一漏極，位于該通道層上并分別對應該柵極的兩側。

本發明提供一種制造主動陣列基板的方法，包括：提供一基底；形成一圖案化光阻層于該基底上，該圖案化光阻層；以該圖案化光阻層為屏蔽，蝕刻該基底以形成一凹槽；全面形成一導體材料層于該圖案化光阻層以及該基底上；去除位于該圖案化光阻層上的該導體材料層；去除該圖案化光阻層；形成至少一掃描線于該凹槽內；形成至少一數據線，與該掃描線垂直；形成至少一薄膜晶體管，與對應的該掃描線以及該數據線電性連接，該薄膜晶體管包括一柵絕緣層，其中至少部份該柵絕緣層位于該凹槽內；以及形成至少一象素電極，與該薄膜晶體管連接。

本發明的目的是提供一種較薄的薄膜晶體管。

本發明的目的是提供一種較薄的薄膜晶體管，薄膜晶體管的柵極與基底之間具有較佳的附著性。

本發明的目的是提供一種較薄的薄膜晶體管，該薄膜晶體管的漏極為多層結構，漏極不會穿刺至摻雜半導體層或通道層。

本發明的目的是提供一種薄膜晶體管的制作方法，避免去光阻工藝時，去光阻劑會蝕刻柵極、源極及/或漏極的問題。

本發明的目的是提供一種主動陣列基板的制作方法，避免去光阻工藝時，去光阻劑會蝕刻柵極、連接墊電極、連接電極、掃描線、源極、漏極及/或數據線之問題。

為讓本發明的上述和其它目的、特征和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下。

附圖說明