[發明專利]光敏性糊劑組合物及用其形成等離子體顯示屏障壁的方法

無效

• 申請號: 200810090144.5
• 申請日: 2008-04-07
• 公開（公告）號: CN101281371A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 樸贊碩;高俊;黃建鎬;鄭熙俊;鄭鏞埈;金泰成
• 申請（專利權）人: 東進世美肯株式會社
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075;G03F7/004;G03F7/00;H01J9/02;H01J9/24
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 丁香蘭

技術領域

本發明涉及等離子體顯示屏(plasma?display?panel，以下稱為“PDP”)障壁形成用光敏性糊劑組合物和PDP障壁形成方法，更詳細地說，本發明涉及如下PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物和PDP障壁形成方法，該組合物適合于利用紫外線照射的光刻(photolithography)法，利用一次光刻工序就能夠形成厚障壁并使障壁不損壞且具有優異的燒制外形(profile)，不僅如此，該組合物還能夠實現高強度和高分辨率，并確保燒制裕度(firing?margin)，從而能夠形成安全的障壁圖案。

背景技術

在以PDP為代表的LCD、OLED等平板顯示器的市場需求增加的同時，在趨向大型化方面競爭正在加速，由此要求通過顯示元件的高精細化、高分辨率化來實現全高清(full?High?Definition)畫質。

PDP是利用如下現象的平板顯示器：在上板和下板之間填充的Ne、Xe等氣體放電時產生等離子體，由該等離子體放出的真空紫外線(主要為147nm波長帶)與熒光體發生碰撞，變為可見光區域的紅、綠、藍色光。

PDP中的障壁是為了確保放電空間并防止相鄰的單元(Cell)之間在電、光學上相互串擾(Cross?talk)而形成于PDP的背面基板上的結構物，其起到決定PDP的圖像顯示品質的重要要素的作用。

作為PDP障壁形成方法，已知有印刷法(printing?method)、噴砂法(sandblast?method)、濕式蝕刻法(wet-etching?method)等。但是，上述方法的工序復雜，難以形成滿足高縱橫比(high?aspect?ratio)的結構物。特別是，噴砂法和濕式蝕刻法不僅實現微細圖案是非常困難的，而且因環境污染問題嚴重而在綠色環境方面存在問題。

從很早以前日本的松下社(Matushida)就有以下事例：為了實現高分辨率，開發出光刻法及其材料以用于形成PDP障壁，并進行批量應用，由此成功地實現了產品化，但是以目前的標準來看，存在采用對光敏性障壁材料進行兩次曝光的工序來實施該方法等工序上的繁瑣和材料的局限性。

發明內容

為了解決上述現有技術的問題，本發明的目的在于提供一種PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，該組合物不僅能夠利用一次光刻工序形成厚障壁并使障壁不損壞且具有優異的燒制外形，而且能夠實現高強度和高分辨率，并確保燒制裕度，從而能夠形成安全的障壁圖案。

本發明的其他目的在于提供一種PDP障壁形成方法和以上述方法形成的障壁，該方法適合于利用紫外線照射的光刻法，并且能夠實現工序的簡單化(能夠一次涂布、一次曝光等)和低成本化。

為了達到上述目的，本發明提供一種PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，該組合物包含a)無機成分以及b)光敏性有機成分，所述無機成分含有i)玻璃粉末和ii)填料，

所述組合物的特征在于，所述填料包含至少70重量％的α-石英(quartz)。

優選上述填料相對于100重量份PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物為0.1重量份～20重量份。

此外，本發明提供PDP障壁形成方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

a)將上述PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物涂布到將要形成障壁的基板上并對涂布后的基板進行干燥；和

b)利用光刻法將上述經干燥的基板形狀化為障壁；和

c)對上述經形狀化的障壁進行燒制。

此外，本發明提供以上述方法制造出的PDP障壁。

本發明的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物適合于利用紫外線照射的光刻法，并且不僅能夠利用一次曝光工序形成障壁不損壞且具有優異的燒制外形的障壁，而且能夠實現高強度和高分辨率，并確保燒制裕度，從而能夠形成安全的障壁圖案。此外，本發明的光敏性糊劑組合物適合于利用紫外線照射的光刻法，并且能夠實現工序的簡單化(能夠一次印刷、一次曝光等)和低成本化。

具體實施方式

下面，詳細說明本發明。

本發明的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物為包含a)無機成分以及b)光敏性有機成分的PDP障壁形成用光敏性糊劑組合物，所述無機成分含有i)玻璃粉末和ii)填料，所述組合物的特征在于，所述填料包含至少70重量％的α-石英。