[發明專利]用于平板顯示器的化學氣相沉積設備

無效

• 申請號: 200810089798.6
• 申請日: 2008-04-10
• 公開（公告）號: CN101285177A
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發明（設計）人: 李相琝;張祥來
• 申請（專利權）人: SFA工程股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/458
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術領域

本發明涉及一種用于平板顯示器(flat?display)的化學氣相沉積設備(chemical?vapor?deposition?apparatus)，且更明確地說，涉及一種用于平板顯示器的化學氣相沉積設備，其具有簡化的結構，有助于下腔室(lower?chamber)下方的空間的有效使用，且防止基座(susceptor)下垂。

背景技術

平板顯示器廣泛用于個人便攜式終端(personal?portable?terminals)、TV或計算機監視器(computer?monitors)。平板顯示器包含多個種類，例如液晶顯示器(liquid?crystal?displays，LCDs)、等離子體顯示面板(plasma?display?panels，PDPs)和有機發光二極管(organic?lightemitting?diodes，OLEDs)。關于平板顯示器，LCD是通過在上和下玻璃襯底的兩個薄片(sheets)之間注射液晶(其是介于固態與液態之間的中間物質)而形成的，且是使用一種光學切換現象(optical?switch?phenomenon)的裝置，其通過使用上玻璃襯底與下玻璃襯底之間的電極電壓差來改變液體分子的布置而產生亮度和暗度，而顯示數字或圖像。

LCD廣泛用于電子裝置，例如電子時鐘、電子計算器、TV和膝上型計算機(laptops)，且用于汽車和飛機的轉速計以及操作系統。

通常，LCD?TV的屏幕大小已有20到30英寸，而監視器的屏幕大小已有17英寸或更小。近來，消費者更喜歡大于40英寸的大屏幕TV和20英寸的大屏幕監視器。因此，LCD制造商需要生產更大的玻璃襯底。近來，大小為約2×2m的所謂的第8代玻璃襯底的大規模生產正在開發之中。

LCD通過一系列工藝被制造出來且最終投入市場中，所述一系列工藝包含：TFT工藝，其中反復進行沉積、光刻(photolithography)、蝕刻、化學氣相沉積；單元工藝，其用于組合上玻璃襯底與下玻璃襯底；以及模塊工藝，其用于完成產品。

在化學氣相沉積工藝(其為許多工藝中的一種)中，通過外部高頻功率而以等離子體形式的具有高能量的基于硅的組合物離子通過電極從氣體分布面板(gas?distribution?panel)注射，且沉積在玻璃襯底上。在執行化學氣相沉積工藝的腔室中執行所述工藝。

如將詳細描述，執行化學氣相沉積工藝的腔室包含上腔室(upperchamber)和下腔室。在上腔室中提供電極，且在下腔室中提供基座，基座上面加載經受沉積的玻璃襯底。

當玻璃襯底加載在基座的上表面上時，將基座加熱到280℃到380℃之間的溫度。接著，基座升高且布置成接近作為下電極的氣體分布面板。通過使用特富龍(Teflon)(其為絕緣部件)而與腔室絕緣的電極來施加功率。通過具有許多小孔的氣體分布面板來注射基于硅的組合物離子，使得玻璃襯底的沉積工藝得以執行。

如上文所述，第8代玻璃襯底的基座(其相對較重且較大)可能下垂。在此情況下，加載在基座的上表面上的玻璃襯底也可能下垂。當玻璃襯底下垂時，沉積在玻璃襯底上的膜的均勻性可能降低，使得質量變差。

為了解決上述問題，本申請人申請了第2006-0011600號韓國專利申請案(尚未公布)，一種通過在基座下方單獨提供基座支撐件來防止基座下垂的技術。

然而，對于在基座下方采用單獨的基座支撐件的化學氣相沉積設備來說，由于當基座處于與用于支撐基座的軸(在下文稱為柱)隔開的位置處時使用了多個輔助軸，所以沉積設備的結構較復雜，且使得難以使用下腔室下方的空間。因此，需要一種經改進的結構，其可簡化結構、有助于下腔室下方的空間的有效使用，且防止基座的下垂。

發明內容

為了解決上述和/或其它問題，本發明提供一種用于平板顯示器的化學氣相沉積設備，其具有簡化的結構，有助于下腔室下方的空間的有效使用，且防止基座的下垂。

根據本發明的一方面，用于平板顯示器的化學氣相沉積設備包括：基座，其安裝在腔室中，能夠升高且具有上面加載平板顯示器的上表面；柱，其具有耦合到基座的后表面的中心區域的上端，和向下穿過所述腔室而暴露的下端，從而支撐所述基座，使其能夠升高；以及基座支撐件，其在所述腔室中耦合到所述柱，且允許上表面的至少一個區域接觸并支撐基座的后表面，從而從基座的下側支撐基座，以防止基座下垂。

基座支撐件包括至少一個單元支撐面板，以及輔助支撐墊(supportpad)，其耦合到所述至少一個單元支撐面板的上表面，且實質上接觸并支撐基座的后表面。