[發明專利]壓電振動器以及其制造方法

有效

• 申請號: 200810089372.0
• 申請日: 2003-09-26
• 公開（公告）號: CN101262210A
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發明（設計）人: 樸寅吉;金德熙
• 申請（專利權）人: 英諾晶片科技股份有限公司;黃舜夏;樸寅吉;金德熙
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 壽寧;張華輝

1、一種振動器，其特征在于其包括：

一積層的元件，至少有兩壓電薄片；

內部電極，形成在積層的所述壓電薄片之間；以及

外部電極，相對地形成在該積層的元件的上方區域與下方區域上；

其中通過控制所述內部電極的圖案，使所述內部電極不會與所述外部電極相連接。

2、根據權利要求1所述的振動器，其特征在于其中每一所述外部電極還形成在該積層的元件的側面區域上。

3、根據權利要求1所述的振動器，其特征在于進一步包括絕緣體，設置在該積層的元件的上與下區域上，且振動凹槽形成在該積層的元件與該絕緣體之間。

4、根據權利要求1所述的振動器，其特征在于進一步包括導電通道，穿過該積層的元件，且不會與所述內部電極相連接，而每一導電通道均與每一所述外部電極相連接。

5、根據權利要求3所述的振動器，其特征在于進一步包括三節點電極，設置于沒有該振動凹槽形成在其上的該絕緣體的另一表片上，其中有介電質功能的該絕緣體可以作為電容器。

6、根據權利要求1所述的振動器，其特征在于包括至少一積層的或是單一平板型式的介電質，所述介電質與積層的該壓電元件相接合。

7、根據權利要求3所述的振動器，其特征在于其中所述絕緣體形成有一燃燒通道，所述燃燒通道與所述振動凹槽相溝通。

8、根據權利要求1所述的振動器，其特征在于其中作為有節點的一電容器的一介電質基底會被裝置在該積層的元件的下方區域上，且用來保護元件的一保護蓋會被裝置在該積層的元件的上方區域上。

9、根據權利要求3所述的振動器，其特征在于其中所述的積層的元件與該絕緣體是被環氧基樹脂包覆，以保護元件。

10、一種振動器的制造方法，其特征在于其包括以下步驟：

以具有預定組成的漿狀物，制作多個壓電生胚薄片；

在所述壓電生胚薄片上形成多個內部電極；

積層其上形成有所述內部電極的至少二薄片；

燒結該積層物；以及

于該積層物的每一上方區域及下方區域形成至少一個外部電極，使得所述外部電極并不與所述內部電極相連接。

11、一種振動器的制造方法，其特征在于其包括以下步驟：

以具有預定組成的漿狀物，制作多個壓電生胚薄片；

在所述所述壓電生胚薄片的兩端形成貫穿孔；

在所述壓電生胚薄片上形成內部電極，當貫穿孔填充有導電的糊料時，以讓所述內部電極不會接觸所述貫穿孔；

積層至少二所述薄片；

燒結該積層物；以及

于該積層物的每一上方區域及下方區域形成至少一個外部電極，以讓所述外部電極不與所述內部電極相連接，而與所述貫穿孔內的導電糊料相連接。