[發(fā)明專利]基板載置臺以及基板處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810088536.8
• 申請日: 2008-03-27
• 公開（公告）號: CN101276777A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 佐佐木芳彥;南雅人
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/67;H01L21/02;H01L21/00;C23C16/458;C23C16/44;C23F4/00;G02F1/1333
• 代理公司: 北京紀(jì)凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 劉春成

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于載置液晶顯示器(Liquid?Crystal?Display)、有機(jī)電致發(fā)光顯示器(Electro-Luminescence?Display)等平板顯示器(Flat?PanelDisplay)用基板的基板載置臺以及基板處理裝置。

背景技術(shù)

在單片處理這種基板的基板處理裝置中，有必要利用搬送臂等將未處理的基板逐個(gè)地搬入設(shè)置在處理室內(nèi)的載置臺上，并將處理后的基板從搬送室搬出。因此，為了協(xié)助相對于處理室的載置臺進(jìn)行的裝載以及卸載，一般多使用升降銷機(jī)構(gòu)，用于利用升降銷將基板提升至載置臺的載置面的更上方。

作為這種現(xiàn)有技術(shù)的升降銷機(jī)構(gòu)，例如，如專利文獻(xiàn)1所示，公知有下述升降銷機(jī)構(gòu)，即，在由單片電極板構(gòu)成的載置臺中，為了防止因電極板的熱膨脹所引起的升降銷孔和升降銷的位置偏移，而在電極板的下側(cè)安裝有升降銷機(jī)構(gòu)的升降導(dǎo)向體。此外，如專利文獻(xiàn)2所示，使升降銷插通通過層疊上板和下板所構(gòu)成的電極，并且在處理室的底部安裝有升降銷的升降導(dǎo)向體(支撐機(jī)構(gòu))。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平10-102259號公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2001-185606號公報(bào)

然而，在專利文獻(xiàn)2所記載的載置臺中，對于具有層疊多個(gè)板構(gòu)成的電極的載置臺而言，因?yàn)槔鐚﹄姌O的溫度進(jìn)行調(diào)整、產(chǎn)生等離子體等情況均會導(dǎo)致各板溫度的上升，因此都會引起熱膨脹。此時(shí)，因?yàn)榕渲迷谧钌喜康陌迤渖蟼?cè)的表面從處理室內(nèi)露出，因此更容易受到隨著等離子體生成所帶來的影響以及處理室內(nèi)溫度的影響等，所以，在最上部的板與其下側(cè)的板之間產(chǎn)生溫度差。因此，這些板的熱膨脹量具有差別，所以，在最上部的板與其下側(cè)的板之間產(chǎn)生水平方向的位置偏移。

因此，在這種具有層疊多個(gè)板構(gòu)成的電極的載置臺中，與專利文獻(xiàn)1、2的情況相同，若在貫通電極即各板的銷插通孔中配置升降銷，則在最上部的板的銷插通孔與其下側(cè)的板的銷插通孔之間產(chǎn)生水平方向的位置偏移，插通在其中的升降銷有可能受到剪切力的作用。若在升降銷上產(chǎn)生有該剪切力的狀態(tài)下使升降銷進(jìn)行升降，則升降銷有可能破損，板有可能破損。

特別是，近年來基板的尺寸也變得越來越大型化，用于載置其的載置臺的各板的尺寸也變得大型化。構(gòu)成該載置臺的板的尺寸越大，其熱膨脹量也變得越大，因此，無法忽視最上部的板與其下側(cè)的板的水平方向的位置偏移的程度變大，在升降銷中更容易產(chǎn)生剪切力。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種基板載置臺等，能夠防止設(shè)置在具有層疊多個(gè)板而構(gòu)成的電極的載置臺上的升降銷的破損以及電極的破損。

為了解決上述問題，本發(fā)明一方面提供一種基板載置臺，具有上下層疊多個(gè)板構(gòu)成的電極，其特征在于，包括：升降銷，其升降自由地設(shè)置在貫通上述多個(gè)板中的配置在最上部的最上部板的銷插通孔中；和用于引導(dǎo)上述升降銷的升降的升降導(dǎo)向體，上述升降導(dǎo)向體被配置成通過層疊在上述最上部板的下側(cè)的下側(cè)板的通孔，并且被位置限定為相對于上述最上部板不能在水平方向移動(dòng)。

為了解決上述問題，本發(fā)明另一方面提供一種基板處理裝置，用于對基板進(jìn)行等離子體處理，其特征在于，包括：構(gòu)成為能夠抽真空的處理室；向上述處理室供給處理氣體的氣體供給單元；配置在上述處理室內(nèi)的上方，將來自上述氣體供給單元的氣體向上述載置臺上的基板進(jìn)行導(dǎo)入的氣體導(dǎo)入單元；和配置在上述處理室內(nèi)的下方的基板載置臺，上述基板載置臺包括：上下層疊多個(gè)板構(gòu)成的電極；升降銷，其升降自由地設(shè)置在貫通上述多個(gè)板中的配置在最上部的最上部板的銷插通孔中；和升降導(dǎo)向體，其用于引導(dǎo)上述升降銷的升降，并且被位置限定為相對于上述最上部板不能在水平方向移動(dòng)。

在本發(fā)明所述的基板載置臺中，即便因?yàn)樽钌喜堪宓臒崤蛎洷认?!-- SIPO -->側(cè)板的熱膨脹大而在它們之間產(chǎn)生水平方向的相對位置偏移，也會因?yàn)樯祵?dǎo)向體在水平方向被位置限定，使其跟隨最上部板移動(dòng)。因此，利用升降導(dǎo)向體進(jìn)行升降的升降銷和最上部板的銷插通孔能夠始終保持一定的間隙。由此，能夠防止因最上部板相對于下側(cè)板產(chǎn)生位置偏移而引起的升降銷的折斷(破損)以及電極板的破損。

此外，上述升降導(dǎo)向體例如通過嵌插到在升降導(dǎo)向體上面和上述最上部板的下面所形成的定位孔內(nèi)的定位部件(例如定位銷)而被位置限定。通過使用該定位部件，能夠簡單地對升降導(dǎo)向體相對于最上部板的下面在水平方向的位置進(jìn)行限制。