[發(fā)明專利]用于測試晶片的探針板

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810088151.1
• 申請日: 2008-01-04
• 公開（公告）號: CN101241144A
• 公開（公告）日: 2008-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李賢愛;崔浩政
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 陶鳳波

1.一種探針板，包括：

具有平板的主卡，在該平板中形成有孔；

通過該孔垂直地安裝在該主卡上的輔卡；和

附著于該輔卡的多個探針針頭。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的探針板，其中輔卡可安裝在主卡上并可與主卡分離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的探針板，包括安裝在主卡上并與輔卡相結(jié)合的基底安裝部分，該基底安裝部分將輔卡固定在主卡上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1的探針板，其中多個輔卡安裝在主卡上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的探針板，其中探針板用于測試布置在晶片上的集成電路芯片。

6.根據(jù)權(quán)利要求1的探針板，其中主卡包括多個電導(dǎo)體，并且輔卡包括用于將該多個電導(dǎo)體與多個探針針頭電連接的多個連接部分。

7.根據(jù)權(quán)利要求6的探針板，其中輔卡進一步包括用于將多個連接部分與多個探針針頭電連接的多個導(dǎo)體。

8.根據(jù)權(quán)利要求6的探針板，其中多個連接部分是可連接到多個探針針頭并可與多個探針針頭分離的連接器。

9.根據(jù)權(quán)利要求1的探針板，其中多個探針針頭形成為直線形狀。

10.根據(jù)權(quán)利要求1的探針板，其中輔卡進一步包括多個針頭支架，該多個針頭支架設(shè)置在多個針頭和輔卡之間并向上支撐多個針頭，使得多個針頭可相對于輔卡傾斜。

11.一種探針板，包括：

具有平板的主卡，在該平板中形成有孔；

通過該孔垂直地安裝在該主卡上的輔卡；

附著于該輔卡的多個探針針頭；和

安裝在主卡上方并向前和向后移動該輔卡的調(diào)節(jié)部分。

12.根據(jù)權(quán)利要求11的探針板，其中主卡安裝在調(diào)節(jié)部分上并包括其上安裝有輔卡的基底安裝部分。

13.根據(jù)權(quán)利要求11的探針板，其中主卡包括安裝在調(diào)節(jié)部分下的支架，該支架將調(diào)節(jié)部分固定在主卡上。

14.根據(jù)權(quán)利要求11的探針板，其中分別設(shè)置多個輔卡和多個調(diào)節(jié)部分。

15.一種探針板，包括：

具有平板的主卡，在該平板中形成有孔；

通過該孔垂直地安裝在該主卡上的輔卡；

附著于該輔卡的多個探針針頭；和

安裝在主卡上方并在X-軸上移動該輔卡的X-軸調(diào)節(jié)部分；和

安裝在X-軸調(diào)節(jié)部分下并在Y-軸上移動該X-軸調(diào)節(jié)部分的Y-軸調(diào)節(jié)部分。

16.根據(jù)權(quán)利要求15的探針板，其中主卡安裝在X-軸調(diào)節(jié)部分上并包括輔卡安裝在其上的基底安裝部分。

17.根據(jù)權(quán)利要求15的探針板，其中主卡包括安裝在Y-軸調(diào)節(jié)部分下并將Y-軸調(diào)節(jié)部分固定在主卡上的支架。

18.根據(jù)權(quán)利要求15的探針板，其中分別設(shè)置多個輔卡、多個X-軸調(diào)節(jié)部分和多個Y-軸調(diào)節(jié)部分。

19.一種探針板，包括：

具有平板的主卡，在該平板中形成有孔；

通過該孔垂直地安裝在該主卡上的輔卡；

附著于該輔卡的多個探針針頭；

探針針頭附著于輔卡，并向該探針針頭施加電源電壓；和

功率限制部分，與施加有電源電壓的探針針頭電連接并防止向施加有電源電壓的探針針頭施加過電壓和過電流。

20.根據(jù)權(quán)利要求19的探針板，其中功率限制部分是電容器。