[發明專利]液滴噴射涂敷裝置及涂敷體的制造方法

無效

• 申請號: 200810087990.1
• 申請日: 2008-03-28
• 公開（公告）號: CN101274534A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發明（設計）人: 木名瀨淳;石原治彥;大石恭史
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: B41J2/175
• 分類號: B41J2/175;B41J2/18
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 何騰云

技術領域

本發明涉及將若干液滴噴射涂敷到涂敷對象物上的液滴噴射涂敷裝置及涂敷體的制造方法。

背景技術

液滴噴射涂敷裝置，除了用于圖像信息的印刷外，例如還用于液晶顯示裝置、有機EL(Electro?Luminescence)顯示裝置、電子發射顯示裝置、等離子顯示裝置及電泳顯示裝置等各種平面型顯示裝置的制造工序。

該液滴噴射涂敷裝置，備有把墨水等的液體作為液滴從若干個噴嘴分別向基板等的涂敷對象物噴射的液滴噴射頭(例如噴墨頭)，用該液體噴射頭使若干液滴落到涂敷對象物上，形成預定的涂敷圖案，制造各種涂敷體。

墨水通過配管(墨水流路)從墨水槽供給到液滴噴射頭。在該配管上設有閥、泵等。另外，為了防止墨水從噴嘴泄漏等，液滴噴射頭內的墨水的液壓被保持為負壓(例如參見專利文獻1)。

在該液滴噴射涂敷裝置中，由于使用含有難溶材料的墨水，所以，由于墨水的時效變化，該材料產生沉淀，因沉淀而引起噴射不良。為了解決這一問題，提出了使墨水在液滴噴射頭與墨水槽之間循環的液滴噴射涂敷裝置(例如參見專利文獻2)。

專利文獻1：日本特開2006-192638號公報

專利文獻2：日本特開2004-230652號公報

發明內容

但是，在上述的液滴噴射涂敷裝置中，因閥、泵的驅動，壓力的變動通過配管內的墨水作用到液滴噴射頭上，所以，產生墨水泄漏、空氣的吸入等。因此，產生了墨水從噴嘴面滲出、或氣泡吸入液滴噴射頭內的問題，造成不噴射等的噴射不良。

本發明是鑒于上述問題而做出的，其目的是提供能抑制噴射不良的液滴噴射涂敷裝置及涂敷體的制造方法。

本發明實施方式的第1特征是，在液滴噴射涂敷裝置中，備有液體收容部、液滴噴射頭、液體供給流路、液體供給部、第1緩沖液體儲存部、液體返回流路、液體返回部、和第2緩沖液體儲存部；上述液體收容部收容液體；上述液滴噴射頭，具有供從液體收容部供給的液體通過的內部流路，把通過內部流路的液體作為液滴從噴嘴噴射；上述液體供給流路，將液體收容部與液滴噴射頭的內部流路連通，把液體從液體收容部供給到液滴噴射頭；上述液體供給部，設在液體供給流路中，把液體從液體收容部通過液體供給流路供給到液滴噴射頭；上述第1緩沖液體儲存部，設在液體供給流路中的、比液體供給部靠近液滴噴射頭側的位置，使從液體供給流路流入的液體滴下，儲存流入的液體；上述液體返回流路，將液滴噴射頭的內部流路與液體收容部或第1緩沖液體儲存部連通，把通過了液滴噴射頭的內部流路的液體，從液滴噴射頭返回到液體收容部或第1緩沖液體儲存部；上述液體返回部，設在液體返回流路中，把通過了液滴噴射頭的內部流路的液體，從液滴噴射頭通過液體返回流路，返回到液體收容部或第1緩沖液體儲存部；上述第2緩沖液體儲存部，設在液體返回流路中的、比液體返回部靠近液滴噴射頭側的位置，使從液體返回流路流入的液體滴下，儲存流入的液體。