[發明專利]檢查方法和記錄有檢查方法的程序記錄介質

有效

• 申請號: 200810087851.9
• 申請日: 2008-03-26
• 公開（公告）號: CN101344570A
• 公開（公告）日: 2009-01-14
• 發明（設計）人: 保坂和樹;豬股勇
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉春成

1.一種檢查方法，在檢查裝置的能夠移動的載置臺上載置被檢查 體，通過內置于載置臺的溫度調節器將所述被檢查體設定為目標溫度， 并進行所述被檢查體的電特性檢查，其特征在于，包括：

根據預先登記的所述被檢查體的物性數據和容積數據，計算將所 述被檢查體從向所述載置臺的載置前的溫度加熱或冷卻至所述目標溫 度所必需的熱量作為加法控制量的工序；和

在將所述被檢查體載置于所述載置臺之前，通過所述溫度調節器 對設定為所述目標溫度的所述載置臺施加所述熱量，加法控制所述載 置臺的工序，

該檢查方法還具有在將所述被檢查體載置于所述載置臺之后，根 據所述載置臺的檢測溫度和所述目標溫度控制所述載置臺的溫度的工 序。

2.一種檢查方法，在檢查裝置的能夠移動的載置臺上載置被檢查 體，通過內置于載置臺的溫度調節器將所述被檢查體設定為目標溫度， 并進行所述被檢查體的電特性檢查，其特征在于：

在進行最初的被檢查體的檢查時，包括：

根據預先登記的所述被檢查體的物性數據和容積數據，計算將所 述被檢查體從向所述載置臺的載置前的溫度加熱或冷卻至所述目標溫 度所必需的第一熱量作為第一加法控制量的工序；和

在將所述被檢查體載置于所述載置臺之前，通過所述溫度調節器 對設定為所述目標溫度的所述載置臺施加所述第一熱量，進行對所述 載置臺的第一加法控制的工序，

此外，在進行第二次以后的被檢查體的檢查時，包括：

根據從之前緊接的被檢查體得到的實測容積數據和從所述第一加 法控制時的所述載置臺得到的溫度分布，計算用于加熱或冷卻所述被 檢查體所必需的第二熱量作為第二加法控制量的工序；和

在將所述第二次以后的被檢查體載置于所述載置臺之前，通過所 述溫度調節器對設定為所述目標溫度的所述載置臺施加所述第二熱 量，進行對所述載置臺的第二加法控制的工序，

該檢查方法還具有在將所述被檢查體載置于所述載置臺之后，根 據所述載置臺的檢測溫度和所述目標溫度控制所述載置臺的溫度的工 序。

3.如權利要求2所述的檢查方法，其特征在于：

所述之前緊接的被檢查體的實測容量數據是使用進行所述之前緊 接的被檢查體的對準所得到的所述被檢查體的平面尺寸和厚度求取 的。

4.如權利要求2或權利要求3所述的檢查方法，其特征在于：

所述溫度分布在所述第一加法控制時從所述載置臺反饋。