[發(fā)明專利]防護(hù)薄膜組件的制造方法及防護(hù)薄膜組件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810087646.2
• 申請日: 2008-03-25
• 公開（公告）號: CN101281363A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 白崎享
• 申請（專利權(quán)）人: 信越化學(xué)工業(yè)株式會社
• 主分類號: G03F1/14
• 分類號: G03F1/14
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 張波

1.一種防護(hù)薄膜組件的制造方法，該防護(hù)薄膜組件用于半導(dǎo)體制造用曝光裝置或液晶制造用曝光裝置，且具有由氟樹脂所構(gòu)成的防護(hù)薄膜，該制造方法的特征為：

將該防護(hù)薄膜從形成該薄膜的基板剝離后，予以加熱。

2.如權(quán)利要求1的防護(hù)薄膜組件的制造方法，其中，

加熱的溫度未達(dá)防護(hù)薄膜的玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)的溫度。

3.一種防護(hù)薄膜組件，用于半導(dǎo)體制造用曝光裝置或是液晶制造用曝光裝置，其特征為：

具有抗拉強(qiáng)度為390kgf/cm²以上的防護(hù)薄膜。