[發明專利]玻璃基板移載裝置

無效

• 申請號: 200810087340.7
• 申請日: 2008-03-21
• 公開（公告）號: CN101538703A
• 公開（公告）日: 2009-09-23
• 發明（設計）人: 黃明鴻;葉公旭;楊正安;何建立
• 申請（專利權）人: 東捷科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周國城

技術領域

本發明涉及太陽能電池的制成，特別是太陽能電池的玻璃基板移載裝置。

背景技術

在太陽能電池的制造過程中有一段程序是必須要將玻璃基板置入一真空腔室中進行化學氣相沉積的加工動作，目前的做法都是采取一次一片的加工方式，也就是說在一片玻璃基板進行完化學氣相沉積并由真空腔室取出后才會再放入另一片玻璃基板來進行化學氣相沉積。這樣的加工效率實際上并不高，因為真空腔室要保持一定的真空度就必須花時間在抽氣上，而真空腔室每打開一次就必須要再花一次時間來抽氣，雖然市面上有將真空腔室分成低真空、高真空等等不同的多段式真空腔室的做法，但是問題還是一樣，真空腔室每打開一次就必須要再花一次時間來抽氣。換言之，若要加工二十片玻璃基板則真空腔室就必須開啟二十次然后抽氣二十次，這樣的做法是相當費工且秏時的。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一于一次化學氣相沉積加工時可同時對多個玻璃基板進行化學氣相沉積加工的玻璃基板移載裝置。

為達成上述目的，本發明玻璃基板移載裝置，包含有一箱體，前后端及底部則呈開通狀態，該箱體的上壁面設有通透部，可供氣體流通，該箱體的上壁面設有一基板支撐組，該基板支撐組是由多個設于該箱體內部上壁面的支撐件所構成，所述支撐件是相隔一預定距設置使二相鄰支撐件之間的距離可供一玻璃基板容置，該箱體內設有一RF電極組，由多個(radio?frequency?electrode；RF?electrode)電極板所構成，一接地電極組，由多個接地電極板所構成，該RF電極板與該接地電極板相互交錯間隔的設置于該箱體內，并且相鄰的RF電極板與該接地電極板之間的距離可以容置玻璃基板。

為了說明本發明的特征及功效，以下茲舉一實施例配合圖式詳細說明如后。

附圖說明

圖1為本發明的立體圖；

圖2為本發明的端面示意圖；

圖3為圖1中3-3剖線方向的剖視圖。

【主要組件符號說明】

玻璃基板1???????箱體10????????橫桿11

電極支架12??????通透部13??????絕緣件14

擋部15??????????支撐塊16??????滾動件17

基板支撐組20????支撐件21??????抵面22

RF電極組30??????RF電極板31????接地電極組40

接地電極板41

具體實施方式

如圖1至圖3所示，本發明玻璃基板移載裝置，用于置入于一底部設有電極支架的真空腔室，該玻璃基板移載裝置包含有：

一箱體10，呈長形，具有左右上三壁面，前后端及底部則呈開通狀態，該箱體的后端設有多個橫桿11，跨設于該箱體左右兩壁面之間，該箱體的上壁面設有通透部13，可供氣體流通，該箱體的上壁面并設有一基板支撐組20，該基板支撐組是由多個設于該箱體內部上壁面的支撐件21所構成，所述支撐件是沿該箱體的長軸方向設置，并且互相隔一預定距，除了最外側的二支撐件之外，各支撐件的兩側皆具有一抵面22，可供玻璃基板依靠，二支撐件之間的距離可供一玻璃基板1容置。

一RF電極組30以及一接地電極組40，該RF電極組是由多個RF電極板31所構成，該接地電極組則由多個接地電極板41所構成，該RF電極板與該接地電極板是相互交錯間隔的設置于該箱體10內，并且相鄰的RF電極板31與該接地電極板41之間的距離可以供玻璃基板1進入。所述電極板的尺寸大小則大于玻璃基板的尺寸。該RF電極(射頻電極)所提供的射頻頻率是介于1MHz至10GHz之間，然而較佳的范圍可以在10MHz至3GHz，例如13.56MHz、40.68MHz或70MHz等。在本實施例中所述RF電極板31與所述接地電極板41皆分別以一端設置于一對應的支撐件21下方，而各電極板的另一端則在該箱體置入真空腔室后可與設于該真空腔室底部的電極支架12所預設的凹槽銜接，并且在每一RF電極板的底端皆設有一絕緣件14，以隔絕RF電極板與電極支架。