[發(fā)明專利]卡盤工作臺機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810086968.5
• 申請日: 2008-03-28
• 公開（公告）號: CN101276776A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 關(guān)家一馬
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;B24B41/06
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 陳堅

1.一種卡盤工作臺機(jī)構(gòu)，其至少由以下部件構(gòu)成：旋轉(zhuǎn)軸；殼體，其具有利用空氣支撐上述旋轉(zhuǎn)軸的徑向的向心軸承、和利用空氣支撐上述旋轉(zhuǎn)軸的軸向的推力軸承；以及保持部，其在上述旋轉(zhuǎn)軸的前端保持晶片，其特征在于，

上述推力軸承由以下部件構(gòu)成：支承板，其形成在上述旋轉(zhuǎn)軸上，并具有與上述旋轉(zhuǎn)軸的軸心正交的第一板面和第二板面；第一支撐部，其向上述第一板面噴出空氣，并通過該空氣來支撐上述第一板面；以及第二支撐部，其向上述第二板面噴出空氣，并通過該空氣來支撐上述第二板面，

在上述第一支撐部或上述第二支撐部上具有間隔對應(yīng)輸出構(gòu)件，該間隔對應(yīng)輸出構(gòu)件輸出對應(yīng)于與上述第一板面或上述第二板面之間的間隔的信息，

在上述間隔對應(yīng)輸出構(gòu)件上連接有載荷變化檢測構(gòu)件，該載荷變化檢測構(gòu)件通過檢測到與上述第一板面或上述第二板面之間的間隔的變化來檢測施加在上述旋轉(zhuǎn)軸上的載荷的變化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡盤工作臺機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述間隔對應(yīng)輸出構(gòu)件由靜電傳感器構(gòu)成。