[發明專利]非球面透鏡的面偏移測量方法及裝置

有效

• 申請號: 200810086521.8
• 申請日: 2008-03-14
• 公開（公告）號: CN101275826A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發明（設計）人: 植木伸明
• 申請（專利權）人: 富士能株式會社
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01M11/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 李香蘭

1.一種非球面透鏡的面偏移測量方法，

在2個透鏡面中至少一方為非球面的被檢測透鏡，測量上述2個透鏡面各自軸相互間的相對位置偏移的面偏移，

該非球面透鏡的面偏移測量方法，按以下順序進行：

彗差測量步驟，使用具備衡消光學元件的干涉計進行上述被檢測透鏡的透過波前測量，根據由該測量所得到的干涉條紋圖像來求出上述被檢測透鏡的彗差；

面偏移彗差算出步驟，從上述彗差測量步驟所求出的上述彗差減去起因于上述2個透鏡面各自軸相互間的相對傾斜錯位的面斜傾而產生的預先所求出的面斜傾分彗差，算出起因于上述面偏移而產生的面偏移分彗差；和

面偏移算出步驟，根據該面偏移彗差算出步驟中所算出的上述面偏移分彗差，算出上述面偏移。

2.根據權利要求1所述的非球面透鏡的面偏移測量方法，其特征在于：

在上述面偏移彗差算出步驟之前進行通過計算機仿真求出上述面斜傾和上述面斜傾分彗差之間的關系的面斜傾分彗差仿真步驟。

3.根據權利要求2所述的非球面透鏡的面偏移測量方法，其特征在于：

上述面斜傾分彗差仿真步驟具有：在進行該仿真時決定相對于仿真用被檢測透鏡的仿真用衡消光學元件的中心軸的位置的面斜傾用衡消光學元件位置決定步驟，

該面斜傾用衡消光學元件位置決定步驟，對賦予了上述面斜傾的上述仿真用被檢測透鏡，通過在該仿真上多次使上述仿真用被檢測透鏡和上述仿真用衡消光學元件的中心軸的相對位置錯位，來進行基于上述仿真用衡消光學元件的波前像差測量的仿真，從各仿真結果求得相對于上述仿真用被檢測透鏡的上述仿真用衡消光學元件的中心軸的位置與上述仿真用被檢測透鏡的波前像差之間的關系，根據該求出的關系，決定上述仿真用衡消光學元件的中心軸的位置。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的非球面透鏡的面偏移測量方法，其特征在于：

在上述彗差測量步驟之前，進行通過計算機仿真求出上述面偏移和上述面偏移分彗差之間的關系的面偏移分彗差仿真步驟。

5.根據權利要求4所述的非球面透鏡的面偏移測量方法，其特征在于：

上述面偏移分彗差仿真步驟具有：在進行該仿真時決定相對于仿真用被檢測透鏡的仿真用衡消光學元件的中心軸的位置的面偏移用衡消光學元件位置決定步驟，

該面偏移用衡消光學元件位置決定步驟，對賦予了上述面偏移的上述仿真用被檢測透鏡，通過在該仿真上多次使上述仿真用被檢測透鏡和上述仿真用衡消光學元件的中心軸的相對位置錯位，來進行基于上述仿真用衡消光學元件的波前像差測量的仿真，從各仿真結果求得相對于上述仿真用被檢測透鏡的上述仿真用衡消光學元件的中心軸的位置和上述仿真用被檢測透鏡的波前像差之間的關系，根據該求出的關系，決定上述仿真用衡消光學元件的中心軸的位置。

6.根據權利要求1至3中任一項所述的非球面透鏡的面偏移測量方法，其特征在于：

在上述面偏移彗差算出步驟之前，進行

通過計算機仿真求出相對于上述干涉計的光軸的上述衡消光學元件的傾斜與起因于該傾斜而產生的衡消光學元件傾斜分彗差之間的關系的衡消光學元件傾斜分仿真步驟、和

測量相對于上述干涉計的光軸的上述衡消光學元件的實際傾斜的衡消光學元件傾斜測量步驟，并且，

從上述衡消光學元件傾斜分仿真步驟所求出的上述關系而算出起因于上述衡消光學元件傾斜測量步驟所測量的上述衡消光學元件的實際傾斜而產生的彗差，將該算出的彗差從上述彗差測量步驟中所測量的彗差中減去。

7.根據權利要求1至3中任一項所述的非球面透鏡的面偏移測量方法，其特征在于：

在上述面偏移彗差算出步驟之前，進行

通過計算機仿真求出相對于上述干涉計的光軸的上述被檢測透鏡自身的傾斜和起因于該傾斜而產生的被檢測透鏡傾斜分彗差之間的關系的被檢測透鏡傾斜分仿真步驟、和

測量相對于上述干涉計的光軸的上述被檢測透鏡自身的實際傾斜的被檢測透鏡傾斜測量步驟，并且，

從上述被檢測透鏡傾斜分仿真步驟所求出的上述關系而算出起因于上述被檢測透鏡傾斜測量步驟中所測量的上述被檢測透鏡自身的實際傾斜而產生的彗差，將該算出的彗差從上述彗差測量步驟中所測量的彗差中減去。