[發(fā)明專利]磁控管

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810086446.5
• 申請(qǐng)日: 2008-03-11
• 公開（公告）號(hào): CN101276723A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·B·C·布雷迪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: E2V技術(shù)（英國(guó)）有限公司
• 主分類號(hào): H01J25/50
• 分類號(hào): H01J25/50;H01J23/00
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 曾祥夌;劉華聯(lián)

1.一種磁控管，所述磁控管包括隔離表面，所述隔離表面暴露于陰極，以便在操作時(shí)接收從所述陰極損失的材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控管，其特征在于，所述隔離表面位于陽(yáng)極空腔的后部處。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控管，其特征在于，所述磁控管包括用來測(cè)量沉積在所述隔離表面上的膜的電阻的機(jī)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁控管，其特征在于，所述電阻測(cè)量機(jī)構(gòu)包括延伸通過所述隔離表面的導(dǎo)體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的磁控管，其特征在于，所述隔離表面由陶瓷材料的區(qū)域所限定。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磁控管，其特征在于，所述陶瓷材料為氧化鋁。