[發(fā)明專利]圓盤狀基板的制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810085456.7
• 申請日: 2008-03-17
• 公開（公告）號: CN101269471A
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發(fā)明（設計）人: 羽根田和幸;藤波聰;城之內武
• 申請（專利權）人: 昭和電工株式會社;西鐵城精密株式會社
• 主分類號: B24B7/24
• 分類號: B24B7/24;B24B55/06
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司
• 代理人: 黨曉林;李艷艷

1、一種圓盤狀基板的制造方法，其特征在于，

在利用磨削裝置對圓盤狀基板進行磨削的工序中從上方朝下方產(chǎn)生氣流，

地板具有上側地板面和下側地板面，該上側地板面由開設有貫通孔的板以及網(wǎng)狀部件中的任一種構成，該下側地板面將所述上側地板面支撐在向上離開的位置上，在所述地板的所述上側地板面上設置所述磨削裝置，并在該下側地板面上配置水，

借助于所述氣流將所述磨削裝置產(chǎn)生的粉塵導入所述水中。

2、根據(jù)權利要求1所述的圓盤狀基板的制造方法，其特征在于，

所述上側地板面是在金屬板上連續(xù)地開設有貫通孔的板條板。

3、根據(jù)權利要求1所述的圓盤狀基板的制造方法，其特征在于，

配置在所述下側地板面上的所述水，在所述上側地板面的下方形成水流。

4、根據(jù)權利要求1所述的圓盤狀基板的制造方法，其特征在于，

磨削用的配管和配線中的任一方都在比所述磨削裝置的加工區(qū)域靠近下方的位置從裝置殼體突出。

5、根據(jù)權利要求1所述的圓盤狀基板的制造方法，其特征在于，

所述上側地板面也設置在作業(yè)人員操作所述磨削裝置的作業(yè)區(qū)域中，

隨著氣流吹到所述磨削裝置上而在所述作業(yè)區(qū)域中產(chǎn)生氣流并將粉塵導入所述水中。

6、一種圓盤狀基板的制造方法，其特征在于，

在利用研磨裝置對圓盤狀基板進行研磨的工序中從上方朝下方產(chǎn)生氣流，

地板具有上側地板面和下側地板面，該上側地板面由開設有貫通孔的板以及網(wǎng)狀部件中的任一種構成，該下側地板面將所述上側地板面支撐在向上離開的位置上，在所述地板的所述上側地板面上設置所述研磨裝置，并在該下側地板面上配置水，

借助于所述氣流將所述研磨裝置產(chǎn)生的粉塵導入所述水中。

7、根據(jù)權利要求6所述的圓盤狀基板的制造方法，其特征在于，

所述上側地板面是在金屬板上連續(xù)地開設有貫通孔的板條板。

8、根據(jù)權利要求6所述的圓盤狀基板的制造方法，其特征在于，

配置在所述下側地板面上的所述水，在所述上側地板面的下方形成水流。

9、根據(jù)權利要求6所述的圓盤狀基板的制造方法，其特征在于，

研磨用的配管和配線中的任一方都在比所述研磨裝置的加工區(qū)域靠近下方的位置從裝置殼體突出。

10、根據(jù)權利要求6所述的圓盤狀基板的制造方法，其特征在于，

所述上側地板面也設置在作業(yè)人員操作所述研磨裝置的作業(yè)區(qū)域中，

隨著氣流吹到所述研磨裝置上而在所述作業(yè)區(qū)域中產(chǎn)生氣流并將粉塵導入所述水中。