[發明專利]探針支撐裝置

無效

• 申請號: 200810083570.6
• 申請日: 2008-03-12
• 公開（公告）號: CN101533036A
• 公開（公告）日: 2009-09-16
• 發明（設計）人: 范宏光;林燊一;楊惠彬
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02;G01R1/04;G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周國城

技術領域

本發明涉及電路裝置的檢測，特別是關于一探針接觸芯片的電路，以檢測芯片功能是否正常運作的探針卡總成及應用于該探針卡的探針支撐裝置。

背景技術

芯片的表面有裸露的金屬導線或是接觸墊，可以供饋入測試信號及接收回饋信號，以判斷芯片是否可以正常運作。饋入及接收信號的方式是利用具備探針的探針卡，以適當壓力壓制于芯片之上，使探針的前端與芯片的信號饋入點、饋出點(例如裸露的金屬導線或接觸墊)接觸，而電性導通設置于探針卡的電路及待測芯片。探針在探針卡被下壓時以探針前端接觸芯片，隨著探針卡持續下壓，探針會出現彈性變形，而產生彈性力使探針前端彈性地接觸于接觸墊，每一探針都被以適當壓力壓制于接觸墊上，再透過電連接導線連接探針與測試電路(通常設置在探針卡的電路板上)。理想的情況下，每一探針的前端在沒有受力時是位于同一假想平面V上，在探針卡被下壓時，每一探針會具備相同的變形量，產生相同的彈性力，確保每一探針的前端都以相同的壓力壓制并接觸于接觸墊。

然而，用以供探針作為設置基礎的基板往往因加工制程產生翹曲現象，而使基板表面無法維持理想的平面狀態。設置于基板上的探針，其前端也無法位于同一假想平面V上。在這種情況下，探針卡朝向芯片壓制的進給量就必須增加，以確保每一探針都能接觸待測試芯片。由于每一探針的變形量不同，因此位于基板內凹處(遠離芯片的部分)的探針會以較小的壓力接觸芯片，而導致接觸不良，位于基板外凸處(靠近芯片的部分)的探針反而會過度被壓縮變形，以過大的壓力接觸芯片，造成探針或芯片被損毀。

為了解決上述問題，現有技術中提出的方式主要有三種方式。

第一種方式是針對探針的型態進行改良，降低探針沿著探針卡壓制方向的虎克系數，以使不同各探針變形量在具備差異時，仍產生近似的彈性壓力，例如中國臺灣專利公告293938號發明專利及中國臺灣專利公告I269874號發明專利。

293938號發明專利是將探針的作成曲折型態，使其包含了二彈性接觸結構，其中至少一彈性接觸結構沿著探針壓制方向具備低虎克系數，因此在特定的壓縮變形范圍之內，探針產生的彈性壓制力會十分近似，解決了探針前端沒有共平面的問題。I269874號發明專利的探針包含了探針尖端及彈性結構，上，彈性結構沿著探針壓制方向具備低虎克系數，因此在特定的壓縮變形范圍之內，探針產生的彈性壓制力會十分近似。然，293938號發明專利及I269874號發明專利都采用了相對復雜的探針結構，增加了探針的制作成本及制作難度。

第二種方式是對用以設置探針的設置面進行研磨，使探針基板至少有一側面維持理想的平面狀態，以供探針設置于其上，例如：中國臺灣專利I284379號發明專利。I284379號發明專利是于翹曲變形的探針基板表面，設置多個固定部，各固定部的端面是經過一研磨程序，使固定部的端面具備共平面的特征，但此種設計無法解決探針基板受負載變形的問題，因此必須額外增加抵抗外力負載的結構。

第三種方式是以調整裝置對探針基板上多個點進行施力，對探針基板的翹曲變形進行補償，而使探針基板的至少一側面維持理想的平面狀態，例如：中國臺灣專利公告588404號發明專利及中國臺灣專利公告588400號發明專利，都是采用多個調整組件對探針基板施加壓力或是拉力，共同作用以補償探針基板的翹曲變形。這種探針卡設計必須在組裝完成后，對調整組件進行反復且精密的微調，微調程序復雜。同時每一探針基板的翹曲變形狀態也不同，因此針對個別的探針基板所進行的微調補償也不同，使其制作難度高。

現有技術中的探針支撐裝置或探針卡總成，為了使探針前端共平面，涉及了復雜探針結構或是探針支撐裝置的結構，提升造成探針卡總成的制作難度及制作成本。

發明內容

本發明目的在于提出一種探針支撐裝置及應用該探針支撐裝置的探針卡總成，透過簡單化的結構達成使探針前端共平面的功效。

為了達成上述目的，本發明提出一種探針支撐裝置，用以供多個探針被設置于其上，而組成一探針卡總成。探針支撐裝置包含剛性承載件及一探針基板。剛性承載件具有多個支撐柱，且支撐柱的末端是位于同一設置平面。探針基板用以供探針被設置于其上，其中支撐柱的末端連接于探針基板，以消除探針基板的翹曲變形而使探針基板維持平板狀態，使探針前端共同位于一假想平面。

于本發明一或多個實施例中，支撐柱是延伸于剛性承載件，為了使支撐柱末端皆位于設置平面，是于一加工平面上對支撐柱末端進行加工研磨，使支撐柱末端供同位于設置平面，以使多個支撐柱的末端皆位于該設置平面。