[發(fā)明專利]探針卡

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810083484.5
• 申請(qǐng)日: 2008-03-07
• 公開（公告）號(hào): CN101526553A
• 公開（公告）日: 2009-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃建名;張嘉泰;林合輝;林進(jìn)億;黃朝敬;陳建良;吳世昌;羅嘉駿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/02
• 分類號(hào): G01R1/02;G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 周長(zhǎng)興

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明與探針卡的對(duì)位作業(yè)，特別是指一種可直接對(duì)探針進(jìn)行目視對(duì)位，不采用間接對(duì)位結(jié)構(gòu)的探針卡。

背景技術(shù)

探針卡是以細(xì)微而密集排列的探針，接觸待測(cè)芯片的訊號(hào)接點(diǎn)，饋入測(cè)試訊號(hào)及接收返饋訊號(hào)，以判斷待測(cè)芯片是否可以正常運(yùn)作。

由于每一個(gè)探針必須接觸特定的訊號(hào)接點(diǎn)，因此探針卡必須經(jīng)過對(duì)位程序，使每一探針都能接觸于其所對(duì)應(yīng)的探針。在探針排列間距大且探針數(shù)量少的探針卡中，可通過一般觀測(cè)方式直接觀測(cè)是否每一探針都確實(shí)地接觸到其所對(duì)應(yīng)的訊號(hào)接點(diǎn)。但是隨著集成電路的組件數(shù)量增加，訊號(hào)接點(diǎn)的排列也變得非常密集而且數(shù)量大增，使得探針卡的探針數(shù)量提升，排列間距大幅縮短。在此種情況下，直接觀測(cè)探針位置的方式就變得不可行，特別是在垂直式探針卡中，雖垂直探針可以密集地排列，但是探針卡本身卻直接遮擋住探針及待測(cè)芯片，使得觀測(cè)探針位置的對(duì)位方式變得完全不可行。

針對(duì)探針對(duì)位的問題，公知技術(shù)中有不同的輔助對(duì)位結(jié)構(gòu)被提出，間接地對(duì)探針進(jìn)行對(duì)位，利用額外設(shè)置于探針卡及待測(cè)芯片的對(duì)位結(jié)構(gòu)，來達(dá)成探針的對(duì)位。日本專利JP-294566號(hào)專利利用一組橫向探針及一組垂直探針結(jié)合進(jìn)行對(duì)位及測(cè)試，橫向探針固定于一框架邊緣，以供使用者針對(duì)橫向探針進(jìn)行定位。垂直探針固定于一平板狀基板，在橫向探針完成定位后，平板狀基板被固定于框架中央，而使垂直探針接觸其它的訊號(hào)接點(diǎn)。但是，框架及平板狀基板必須有極高的組裝精密度，并配合微調(diào)裝置調(diào)整平板狀基板相對(duì)于框架的相對(duì)位置，才能確保垂直探針能夠正確地接觸其所對(duì)應(yīng)的訊號(hào)接點(diǎn)，且框架及平板狀基板完全遮擋住橫向探針及垂直探針的前端，因此實(shí)際上使用者仍無法確認(rèn)探針是否正確地定位。

中國(guó)臺(tái)灣I263786號(hào)發(fā)明專利，是于探針卡上設(shè)置額外的二檢測(cè)探針及檢測(cè)電路，并于待測(cè)芯片上設(shè)置虛引腳(dummy?lead)。探針卡與待測(cè)芯片經(jīng)過初步對(duì)位后，再使探針卡及待測(cè)芯片相對(duì)位移，當(dāng)探針到達(dá)對(duì)位時(shí)，二檢測(cè)探針會(huì)同時(shí)接觸虛引腳，而讓檢測(cè)電路被導(dǎo)通以產(chǎn)生對(duì)位正確信號(hào)。然而，I263786號(hào)發(fā)明專利必須同時(shí)在探針卡及待測(cè)芯片上設(shè)置額外的檢測(cè)電路、檢測(cè)探針、及虛引腳，提升探針卡及待測(cè)芯片的制造成本及設(shè)計(jì)難度。

公知技術(shù)中，針對(duì)垂直式探針卡等具備密集探針排列的探針卡進(jìn)行對(duì)位，必須在探針卡及待測(cè)芯片上設(shè)置額外的輔助對(duì)位結(jié)構(gòu)，間接地對(duì)探針進(jìn)行對(duì)位。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種探針卡，能直接對(duì)探針進(jìn)行目視對(duì)位，從而省去了輔助對(duì)位結(jié)構(gòu)的設(shè)置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明公開了一種探針卡，用以測(cè)試一具有復(fù)數(shù)個(gè)訊號(hào)接點(diǎn)的待測(cè)芯片，探針卡包含一基板、復(fù)數(shù)個(gè)第一探針、及復(fù)數(shù)個(gè)第二探針。基板用以被設(shè)置待測(cè)芯片上方，且基板具有一觀測(cè)窗。第一探針及第二探針設(shè)置于基板的底面，分別用以接觸其所對(duì)應(yīng)的訊號(hào)接點(diǎn)，且第二探針的前端位于觀測(cè)窗的下方，供使用者直接通過觀測(cè)窗由基板的頂面觀測(cè)第二探針的前端是否到達(dá)對(duì)位，而同時(shí)達(dá)成第一探針的對(duì)位。

具體地說，本發(fā)明提供的探針卡，用以測(cè)試一具有復(fù)數(shù)個(gè)訊號(hào)接點(diǎn)的待測(cè)芯片，該探針卡包含：

一基板，用以被設(shè)置于該待測(cè)芯片上方，該基板具有一觀測(cè)窗；

復(fù)數(shù)個(gè)第一探針及復(fù)數(shù)個(gè)第二探針，設(shè)置于該基板的底面，分別用以接觸其所對(duì)應(yīng)的訊號(hào)接點(diǎn)，其中該些第一探針朝該基板下方延伸而被該基板所遮蔽，該些第二探針朝向該觀測(cè)窗下方延伸，使該些第二探針的前端位于該觀測(cè)窗的下方。

所述的探針卡，其中，包含一第一探針頭及一第二探針頭，設(shè)置于該基板的底面，該些第一探針設(shè)置于該第一探針頭，且該些第二探針設(shè)置于該第二探針頭。

所述的探針卡，其中，該些第一探針為垂直探針，延伸于該第一探針頭的底部。

所述的探針卡，其中，該些第二探針為橫向探針，延伸于該第二探針頭的側(cè)面，并向下延伸。

所述的探針卡，其中，包含一調(diào)整裝置，設(shè)置于該基板，用以可調(diào)整地固定該第二探針頭于該基板的底面，以調(diào)整該第二探針頭與該基板之間的間隔距離。

所述的探針卡，其中，該調(diào)整裝置包含至少一可置換的墊片，固定于該基板的底面，且該第二探針頭被固定于位于最下方的墊片。

所述的探針卡，其中，包含一螺栓，穿過該基板，且該些墊片被螺栓所穿過，使第二探針頭被固定于該螺栓的前端。

所述的探針卡，其中，該調(diào)整裝置包含一具有螺孔的拴鎖塊及一螺絲，該拴鎖塊固定于該第二探針頭的頂部，且該螺絲穿過該基板且螺合于該基板，并以其前端結(jié)合于該拴鎖塊。

所述的探針卡，其中，該螺絲為一差動(dòng)螺絲。