[發(fā)明專利]振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器及其制造方法、控制電路和電子設(shè)備

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810082997.4
• 申請(qǐng)日: 2008-03-17
• 公開（公告）號(hào): CN101266257A
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 栗原一夫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 索尼株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01P3/44
• 分類號(hào): G01P3/44;G01L1/16
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 郭定輝

1.一種振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器，包括：

振蕩回轉(zhuǎn)裝置，包括壓電裝置，所述壓電裝置包括驅(qū)動(dòng)電極和檢測電極，所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置根據(jù)輸入到所述驅(qū)動(dòng)電極的驅(qū)動(dòng)信號(hào)振蕩，并且能夠產(chǎn)生包括與來自所述檢測電極的科里奧利力對(duì)應(yīng)的檢測信號(hào)的輸出信號(hào)；

振蕩電路，基于所述輸出信號(hào)將用于使所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置振蕩的信號(hào)輸出到所述驅(qū)動(dòng)電極作為所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)；

控制器，控制所述振蕩電路使得該振蕩電路輸出使所述輸出信號(hào)恒定的驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及

阻抗轉(zhuǎn)換電路，向其輸入從所述振蕩電路輸出的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器，

其中所述檢測電極包括產(chǎn)生第一信號(hào)的第一檢測電極以及產(chǎn)生第二信號(hào)的第二檢測電極，所述第一信號(hào)和所述第二信號(hào)的差值用于獲得所述檢測信號(hào)，

其中所述振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器進(jìn)一步包括加法電路，用于將來自所述第一檢測電極的第一信號(hào)和來自所述第二檢測電極的第二信號(hào)相加，以及

其中所述振蕩電路基于在所述加法電路中通過相加而獲得的所述信號(hào)來將所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出到所述驅(qū)動(dòng)電極。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器，

其中所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置包括安裝有壓電裝置的振蕩臂、以及包括將所述驅(qū)動(dòng)電極和所述檢測電極與所述振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器的外部連接并且支撐所述振蕩臂的引導(dǎo)電極組的底座主體。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器，

其中所述壓電裝置包括具有在其之上形成所述驅(qū)動(dòng)電極和所述檢測電極的第一表面以及與該第一表面相對(duì)的第二表面的壓電膜，以及在所述第二表面之上形成的公共電極，以及

其中所述振蕩臂包括由半導(dǎo)體制成的臂底部，該振蕩臂安裝有所述壓電裝置，以便在所述臂底部和所述壓電膜之間提供所述公共電極。

5.一種振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器，包括：

振蕩回轉(zhuǎn)裝置，包括第一振蕩臂，所述第一振蕩臂包括具有第一驅(qū)動(dòng)電極和檢測電極的第一壓電裝置；第二振蕩臂，所述第二振蕩臂包括具有第二驅(qū)動(dòng)電極的第二壓電裝置；以及第三振蕩臂，所述第三振蕩臂包括具有第三驅(qū)動(dòng)電極的第三壓電裝置，所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置根據(jù)輸入到所述第一驅(qū)動(dòng)電極、所述第二驅(qū)動(dòng)電極以及所述第三驅(qū)動(dòng)電極的每一個(gè)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)而振蕩，并且能夠產(chǎn)生包括與來自所述檢測電極的科里奧利力對(duì)應(yīng)的檢測信號(hào)的輸出信號(hào)；

振蕩電路，基于所述輸出信號(hào)，將用于使所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置振蕩的信號(hào)輸出到所述第一驅(qū)動(dòng)電極、所述第二驅(qū)動(dòng)電極以及所述第三驅(qū)動(dòng)電極中的每一個(gè)作為所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)；

控制器，控制所述振蕩電路，使得該振蕩電路輸出使所述輸出信號(hào)恒定的驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及

阻抗轉(zhuǎn)換電路，向其輸入從所述振蕩電路輸出的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)。

6.一種用于控制振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器的控制電路，所述振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器包括包含壓電裝置的振蕩回轉(zhuǎn)裝置，所述壓電裝置包括驅(qū)動(dòng)電極和檢測電極，所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置根據(jù)輸入到所述驅(qū)動(dòng)電極的驅(qū)動(dòng)信號(hào)振蕩并且能夠產(chǎn)生包括與來自所述檢測電極的科里奧利力對(duì)應(yīng)的檢測信號(hào)的輸出信號(hào)，包括：

振蕩電路，基于所述輸出信號(hào)，將用于使所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置振蕩的信號(hào)輸出到所述驅(qū)動(dòng)電極作為所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)；

控制器，控制所述振蕩電路，使得所述振蕩電路輸出使所述輸出信號(hào)恒定的驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及

阻抗轉(zhuǎn)換電路，向其輸入從所述振蕩電路輸出的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)。

7.一種電子設(shè)備，包括：

機(jī)殼；以及

振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器，安裝在機(jī)殼內(nèi)部并且包括：振蕩回轉(zhuǎn)裝置，其包括壓電組件、驅(qū)動(dòng)所述壓電組件的驅(qū)動(dòng)電極、以及當(dāng)在所述壓電組件中產(chǎn)生科里奧利力時(shí)輸出包括與所述科里奧利力對(duì)應(yīng)的檢測信號(hào)的輸出信號(hào)的檢測電極；振蕩電路，基于所述輸出信號(hào)將用于使所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置振蕩的信號(hào)輸出到所述驅(qū)動(dòng)電極作為所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)；控制器，控制所述振蕩電路使得該振蕩電路輸出使所述輸出信號(hào)恒定的驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及阻抗轉(zhuǎn)換電路，向其輸入從所述振蕩電路輸出的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)。

8.一種用于振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器的制造方法，所述振蕩型回轉(zhuǎn)傳感器包括：振蕩回轉(zhuǎn)裝置，其包括驅(qū)動(dòng)電極和檢測電極，所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置根據(jù)輸入到所述驅(qū)動(dòng)電極的驅(qū)動(dòng)信號(hào)振蕩，并且能夠產(chǎn)生包括與來自所述檢測電極的科里奧利力對(duì)應(yīng)的檢測信號(hào)的輸出信號(hào)，所述方法包括：

電連接控制電路和所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置，所述控制電路包括：振蕩電路，基于所述輸出信號(hào)將用于使所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置振蕩的信號(hào)輸出到所述驅(qū)動(dòng)電極作為所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)；控制器，控制所述振蕩電路使得該振蕩電路輸出使所述輸出信號(hào)恒定的驅(qū)動(dòng)信號(hào)；以及阻抗轉(zhuǎn)換電路，向其輸入從所述振蕩電路輸出的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)；

從所述控制電路的振蕩電路輸出所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以驅(qū)動(dòng)所述振蕩回轉(zhuǎn)裝置；以及

監(jiān)視從所述控制電路的阻抗轉(zhuǎn)換電路輸出的所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)。