[發明專利]物品收納設備有效
| 申請號: | 200810082481.X | 申請日: | 2008-03-06 |
| 公開(公告)號: | CN101261951A | 公開(公告)日: | 2008-09-10 |
| 發明(設計)人: | 吉田充;乾吉隆 | 申請(專利權)人: | 株式會社大福 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;B65G1/04 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 溫大鵬 |
| 地址: | 日本大阪*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 物品 收納 設備 | ||
1.一種物品收納設備,包括:
物品收納架,在用于收納物品的多個物品收納部在水平方向和上下方向上排列的狀態下配備;
物品搬送體,構成為沿著經由對于上述物品收納架的物品移載位置的移動路徑移動;
物品載置體,用于相對于上述物品收納架搬出搬入物品,所述物品載置體在向上述物品收納架的外方突出的物品接受用的突出位置和向上述物品收納架的方向退回的退回位置之間自如進退地設置在上述物品收納架上,
在此,上述物品搬送體在停止在上述物品移載位置的狀態下,對上述突出位置的上述物品載置體進行物品的傳遞和接收;
其特征在于,
具有進退操作裝置,所述進退操作裝置設置在上述物品搬送體上,在停止在上述物品移載位置的狀態下將上述物品載置體進退操作到上述突出位置和上述退回位置。
2.如權利要求1所述的物品收納設備,其特征在于,
具有主導件,所述主導件設置在上述物品收納架上,以可動導件在上述物品載置體的進退移動方向上自如移動的方式導向支承可動導件,
在此,上述物品載置體在其進退移動方向上自如移動地導向支承在上述可動導件上。
3.如權利要求1所述的物品收納設備,其特征在于,
上述物品搬送體構成為,沿著比上述物品載置體靠上方的移動路徑移動,且具有為了相對于上述物品載置體進行物品的交接和接收而升降的物品保持部。
4.如權利要求1所述的物品收納設備,其特征在于,
還具有物品移載裝置,所述物品移載裝置與上述物品收納架對應而配置,進行水平移動及升降移動以在上述退回位置的上述物品載置體和上述物品收納部之間搬送物品。
5.如權利要求1~4任一項所述的物品收納設備,其特征在于,
上述物品收納架及上述物品搬送體設置在降流式的清潔空間內。
6.如權利要求1所述的物品收納設備,其特征在于,
還具有物品保管架,所述物品保管架設置在相對于上述物品收納架在上述物品載置體的突出方向上離開且與上述物品載置體相對置的位置上,在向上述物品收納架一側突出的物品接受位置和向遠離上述物品收納架一側退回的物品保管位置之間進退移動,
在此,上述物品搬送體在停止于上述物品移載位置的狀態下,對上述物品接受位置的上述物品保管架傳遞和接收物品。
7.如權利要求6所述的物品收納設備,其特征在于,
還具有物品保管架操作裝置,所述物品保管架操作裝置設置在上述物品搬送體上,在停止于上述物品移載位置的狀態下,將上述物品保管架進退操作到上述物品接受位置和上述物品保管位置。
8.如權利要求6或7所述的物品收納設備,其特征在于,
還具有固定導件,所述固定導件與上述物品保管架的物品保管位置對應而設置,在上述物品保管架的進退方向上導向支承架支承用可動導件,
在此,上述物品保管架在其進退方向上自如進退地被上述架支承用可動導件導向支承。
9.如權利要求1~4任一項所述的物品收納設備,其特征在于,
上述進退操作裝置具有操作體,
上述操作體構成為使被設置在上述物品收納架上的上述被操作體移動,
上述被操作體的移動經由在上下方向上延伸的連桿而作為使上述物品載置體在上述突出位置和上述退回位置之間驅動的驅動力傳遞。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





