[發(fā)明專利]半導(dǎo)體激光器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810082028.9
• 申請日: 2008-02-28
• 公開（公告）號: CN101521352A
• 公開（公告）日: 2009-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 臧二軍;曹建平;李燁;方占軍
• 申請（專利權(quán)）人: 中國計量科學(xué)研究院
• 主分類號: H01S5/00
• 分類號: H01S5/00;H01S5/10;H01S5/14
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 李 玲

1.一種半導(dǎo)體激光器，其特征在于，至少包括：半導(dǎo)體激光管 (1)、準(zhǔn)直透鏡(3)、分束鏡(12)和單塊折疊F-P腔(5)；所述單塊 折疊F-P腔(5)為側(cè)面成直角梯形的六面體，該單塊折疊F-P腔(5) 的布設(shè)使得分束鏡(12)分出的入射光束從梯形的直角腰面入射，經(jīng)底 邊面和另一個腰面的反射后的逆入射反射光沿著與原入射光束共線反向 的路徑返回；

所述半導(dǎo)體激光器內(nèi)各部件的布設(shè)使得半導(dǎo)體激光管(1)發(fā)出的 激光，經(jīng)準(zhǔn)直透鏡(3)準(zhǔn)直后，由在分束鏡(12)分出的一束入射在 單塊折疊F-P腔(5)上；單塊折疊F-P腔(5)的逆入射反射光沿著與 原入射光束共線反向的路徑，經(jīng)分束鏡(12)被返回到半導(dǎo)體激光管 (1)中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述半導(dǎo)體 激光器還包括以下一種或兩種以上調(diào)節(jié)系統(tǒng)的組合：

諧振頻率調(diào)節(jié)系統(tǒng)，通過改變單塊折疊F-P腔(5)的光程來調(diào)節(jié) 單塊折疊F-P腔(5)決定的諧振頻率；

激光振蕩頻率調(diào)節(jié)系統(tǒng)，通過改變分束鏡(12)到單塊折疊F-P腔 (5)或分束鏡(12)到半導(dǎo)體激光管(1)的距離來調(diào)節(jié)分束鏡(12) 選頻決定的激光振蕩頻率；

第一半導(dǎo)體激光管(1)輸出光頻率范圍調(diào)節(jié)系統(tǒng)，通過改變半導(dǎo) 體激光管(1)的輸入電流來改變半導(dǎo)體激光管(1)輸出光頻率范圍；

第二半導(dǎo)體激光管(1)輸出光頻率范圍調(diào)節(jié)系統(tǒng)，通過改變半導(dǎo) 體激光管(1)的溫度來改變半導(dǎo)體激光管(1)輸出光頻率范圍。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述諧振頻 率調(diào)節(jié)系統(tǒng)通過改變對單塊折疊F-P腔(5)施加的應(yīng)力或溫度調(diào)節(jié)或 二者組合的方式來改變單塊折疊F-P腔(5)的光程；

所述激光振蕩頻率調(diào)節(jié)系統(tǒng)，在保證分束鏡(12)分出的入射光到 達單塊折疊F-P腔(5)的入射角度不變的情況下，通過按一定軌跡移 動單塊折疊F-P腔(5)、分束鏡(12)、半導(dǎo)體激光管(1)中的一種或 兩種以上任意組合的方式來改變分束鏡(12)到單塊折疊F-P腔(5) 或分束鏡(12)到半導(dǎo)體激光管(1)的距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述諧振頻 率調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括：單塊折疊F-P腔熱沉(6)；

單塊折疊F-P腔熱沉(6)用于控制單塊折疊F-P腔(5)的溫度， 并通過溫度的變化控制單塊折疊F-P腔(5)的諧振頻率。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述諧振頻 率調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括：粘在單塊折疊F-P腔(5)上的壓電陶瓷(7)，用于 通過改變壓電陶瓷(7)電壓對單塊折疊F-P腔(5)施加應(yīng)力控制單塊 折疊F-P腔(5)的諧振頻率。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一項所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在 于，該半導(dǎo)體激光器還包括：光路校準(zhǔn)系統(tǒng)，通過調(diào)節(jié)分束鏡(12)或 單塊折疊F-P腔(5)角度，保證半導(dǎo)體激光管(1)的光束與單塊折疊 F-P腔(5)之間的對準(zhǔn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述光路校 準(zhǔn)系統(tǒng)包括：調(diào)節(jié)架動板(8)、微調(diào)螺釘(9)和調(diào)節(jié)架定板(10)；

所述分束鏡(12)設(shè)置在調(diào)節(jié)架動板(8)上，所述微調(diào)螺釘(9) 設(shè)置在調(diào)節(jié)架定板(10)上，所述光路校準(zhǔn)系統(tǒng)的設(shè)置通過轉(zhuǎn)動微調(diào)螺 釘(9)帶動調(diào)節(jié)架動板(8)轉(zhuǎn)動；

或者所述單塊折疊F-P腔(5)設(shè)置在調(diào)節(jié)架動板(8)上，所述微 調(diào)螺釘(9)設(shè)置在調(diào)節(jié)架定板(10)上，所述光路校準(zhǔn)系統(tǒng)的設(shè)置通 過轉(zhuǎn)動微調(diào)螺釘(9)帶動調(diào)節(jié)架動板(8)轉(zhuǎn)動。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述單塊折 疊F-P腔(5)的三個光學(xué)反射面均為微凸面型；

或者所述單塊折疊F-P腔(5)的反射面型為平面與微凸面組合、 或微凸與平面及微凹面的組合。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的半導(dǎo)體激光器，其特征在于，所述單 塊折疊F-P腔(5)光學(xué)面上的反射區(qū)域表面的粗糙度低于0.5nm；

所述單塊折疊F-P腔(5)90°角的兩個光學(xué)面之間的角度誤差以及 三個光學(xué)面的塔差被控制在6″以內(nèi)，光學(xué)鍍膜的吸收系數(shù)小于 50ppm；

所述單塊折疊F-P腔(5)作為輸入輸出耦合面的斜入射面的鍍膜 反射率為0.99，正入射的高反射面的鍍膜反射率大于0.999。