[發(fā)明專利]化學(xué)處理方法和化學(xué)處理裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810081328.5
• 申請日: 2003-08-21
• 公開（公告）號(hào): CN101307443A
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山本充彥;米村正雄;澤瀉由果;前原智子
• 申請（專利權(quán)）人: 卡西歐邁克羅尼克斯株式會(huì)社;村田株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23F1/00
• 分類號(hào): C23F1/00
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 于輝

1.化學(xué)處理方法，使用該方法將待成膜的材料上形成的金屬膜刻蝕成預(yù)定圖案，所述金屬膜是由選自鉻、鈦、鎢、鈀和鉬中的一種金屬或者含有鉻、鈦、鎢、鈀和鉬中的至少一種的合金形成的，其特征在于所述金屬膜被浸泡在含有鹵素離子的酸性處理溶液中，并以浸泡在所述酸性處理溶液中的金屬膜作為陰極進(jìn)行電解還原。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于鹵素離子是氯離子。

3.化學(xué)處理裝置，使用該裝置將待成膜的材料上形成的金屬膜刻蝕成預(yù)定圖案，所述金屬膜是由選自鉻、鈦、鎢、鈀和鉬中的一種金屬或者含有鉻、鈦、鎢、鈀和鉬中的至少一種的合金形成的，其特征在于其包括電解設(shè)備，該電解設(shè)備將金屬膜浸泡在含有鹵素離子的酸性處理溶液中，并對作為陰極的金屬膜進(jìn)行電解還原處理。