[發明專利]一種自動顯影裝置及自動顯影方法

無效

• 申請號: 200810081145.3
• 申請日: 2008-03-12
• 公開（公告）號: CN101251720A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 施宏偉
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所
• 代理人: 翟羽

1.一種自動顯影裝置，至少包括顯影液輸入管路及顯影單元，其特征在于：顯影單元具有一第一平衡支座和第二平衡支座以構成窄條狀流體輸入管路連接顯影液輸入管路和漸擴狀流體噴嘴用于噴發顯影液及壓縮空氣，且所述自動顯影裝置還包括：

顯影液流量測量單元連接該顯影液輸入管路用于測量顯影液流量；

顯影液流量調節單元連接該顯影液輸入管路用于調節顯影液流量；

壓縮空氣輸入管路連接至該流體輸入管路；

氣體壓力測量單元連接壓縮空氣輸入管路用于測量氣體壓力；

氣體壓力調節單元連接壓縮空氣輸入管路用于調節氣體壓力；以及

計算機控制單元連接并控制所述氣體壓力測量單元、氣體壓力調節單元、顯影液流量測量單元和顯影液流量調節單元。

2.根據權利要求1所述的自動顯影方法，其特征在于：所述第一平衡支座和第二平衡支座為對稱式結構。

3.一種自動顯影方法，其特征在于：包括如下步驟：

滾輪基板傳送單元將基板傳感器感測到的信號傳送至計算機控制單元；

計算機控制單元輸出預設值至顯影液流量調節單元和氣體壓力調節單元，以控制輸入管路的顯影液的流量和壓縮空氣的氣體壓力；

顯影液流量測量單元和氣體壓力測量單元分別測量所輸入顯影液的流量和空氣壓力，并將測得的值傳送至計算機控制單元；

計算機控制單元記錄并刷新上述數據，并計算出一定時間內的壓力差值和流量差值，計算機控制單元將該壓力差值和流量差值傳送至顯影液流量調節單元和氣體壓力調節單元；

顯影液流量調節單元和氣體壓力調節單元根據計算機控制單元所傳來的數據，增加或降低顯影液的流量和壓縮空氣的氣體壓力。

4.根據權利要求2所述的自動顯影方法，其特征在于：所述預設值有若干個。

5.根據權利要求3所述的自動顯影方法，其特征在于：所述基板傳感器感測到的信號不同時，計算機控制單元輸出至顯影液流量調節單元和氣體壓力調節單元的預設值也不同。