[發明專利]掃描機構,加工工件的方法,以及加工裝置

無效

• 申請號: 200810080433.7
• 申請日: 2008-02-19
• 公開（公告）號: CN101251647A
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 松下直久;古井壽一
• 申請（專利權）人: 富士通株式會社
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;B23K26/06
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 張龍哺;馮志云

1.一種應用光束對掃描對象進行掃描的掃描機構，包括：

聚光裝置，用于聚集由光源發射的所述光束；

驅動裝置，用于沿與所述聚光裝置的光軸正交的方向驅動所述聚光裝置；

第一反射裝置，被設置為靠近所述掃描對象的第一側，用于反射由所述聚光裝置聚集的所述光束，以使得所述光束入射到所述掃描對象上；以及

第二反射裝置，被設置為靠近所述掃描對象的第二側，該第二側與所述掃描對象的第一側相反，用于反射由所述聚光裝置聚集的所述光束，以使得所述光束入射到所述掃描對象上。

2.如權利要求1所述的掃描機構，其中所述第一反射裝置和所述第二反射裝置均被布置為對從所述聚光裝置發射的所述光束進行反射，使得所述光束沿與所述掃描對象正交的方向入射到所述掃描對象上。

3.如權利要求1所述的掃描機構，其中所述第一反射裝置和所述第二反射裝置均被布置在相對所述掃描對象傾斜45度的位置。

4.如權利要求1所述的掃描機構，還包括調節機構，用于在沿著所述聚光裝置的光軸的方向調節所述聚光裝置的位置。

5.如權利要求1所述的掃描機構，其中所述驅動裝置在與所述聚光裝置的光軸垂直的平面內驅動所述聚光裝置。

6.一種應用光束對掃描對象進行掃描的掃描機構，包括：

分光裝置，用于將由光源發射的所述光束分離成第一部分和第二部分；

第一聚光裝置，用于聚集所述第一部分；

第二聚光裝置，用于聚集所述第二部分；

第一反射裝置，用于反射從所述第一聚光裝置發射的所述第一部分，以使得所述第一部分被發射到所述掃描對象的第一側；

第二反射裝置，用于反射從所述第二聚光裝置發射的所述第二部分，以使得所述第二部分被發射到所述掃描對象的第二側；以及

驅動裝置，用于沿與各自的所述聚光裝置的光軸正交的方向分別驅動所述第一聚光裝置和所述第二聚光裝置。

7.如權利要求6所述的掃描機構，其中所述第一聚光裝置和所述第二聚光裝置具有共同的光學特性。

8.如權利要求6所述的掃描機構，還包括光屏蔽裝置，用于選擇性傳輸所述第一部分和所述第二部分中的一個，并屏蔽另一個。

9.如權利要求6所述的掃描機構，其中所述第一聚光裝置和所述第二聚光裝置被安裝至單個驅動裝置，并被所述驅動裝置同時驅動。

10.如權利要求6所述的掃描機構，其中所述第一聚光裝置和所述第二聚光裝置分別具有位置調節機構，用于分別沿所述第一聚光裝置的光軸方向和所述第二聚光裝置的光軸方向調節所述第一聚光裝置的位置和所述第二聚光裝置的位置。

11.如權利要求10所述的掃描機構，其中所述位置調節機構獨立地調節所述第一聚光裝置的位置和所述第二聚光裝置的位置。

12.如權利要求6所述的掃描機構，還包括第三反射裝置，用于反射所述光束中透射過所述分光裝置的部分。

13.如權利要求12所述的掃描機構，其中所述分光裝置、所述第一反射裝置、所述第二反射裝置、以及所述第三反射裝置被布置為對入射光束進行90度的反射。

14.一種應用光束對掃描對象進行掃描的掃描機構，包括：

分光裝置，用于將由光源發射的所述光束分離成第一部分和第二部分；

第一反射裝置，用于反射所述第一部分，以使得所述第一部分被發射到所述掃描對象的第一側；

第二反射裝置，用于反射所述第二部分，以使得所述第二部分被發射到所述掃描對象的第二側；

第一聚光裝置，用于聚集所述第一部分；

第二聚光裝置，用于聚集所述第二部分；以及

驅動裝置，用于在與各自的所述聚光裝置的光軸正交的平面內分別驅動所述第一聚光裝置和所述第二聚光裝置。