[發明專利]基于平面環形微腔的氣體檢測方法及氣體傳感器

無效

• 申請號: 200810079658.0
• 申請日: 2008-10-24
• 公開（公告）號: CN101419161A
• 公開（公告）日: 2009-04-29
• 發明（設計）人: 熊繼軍;嚴英占;閆樹斌;楊玉華;吉喆;王少輝;王寶花;姜國慶;任小紅
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01N21/31
• 分類號: G01N21/31
• 代理公司: 山西五維專利事務所（有限公司）
• 代理人: 李印貴

1.基于平面環形微腔的氣體檢測傳感器，包括光纖(2)、激光發射器(4)、光學濾波器(5)、分束器(6)、吸收氣室(7)、真空氣室(8)、光電探測器(9)及信號處理器(10)；其特征在于：

●所述的光纖為雙錐形光纖；所述的吸收氣室與真空氣室內各有一個由平面環形微腔與雙錐形光纖構成的耦合器，耦合器的平面環形微腔位于所述的雙錐形光纖的錐區；所述的吸收氣室內的耦合器為檢測氣體耦合器，真空氣室內的耦合器為真空環境中耦合器；

●所述的吸收氣室是由檢測氣體耦合器與防塵透氣罩(3)組成；

●所述的真空氣室是由真空環境中耦合器和真空罩組成；

●所述的激光發射器接光學濾波器，然后接分束器的輸入端，分束器的輸出端通過單模光纖(11)，一路連接吸收氣室的雙錐形光纖輸入端，另外一路連接對比信號用的真空氣室的雙錐形光纖輸入端；吸收氣室與真空氣室的雙錐形光纖輸出端通過單模光纖分別連接兩個光電探測器，由兩個光電探測器將光信號轉換為電信號并接到信號處理器。

2.根據權利要求1所述的基于平面環形微腔的氣體檢測傳感器，其特征在于：所述的雙錐形光纖為納米光纖，或者為光子晶體光纖。

3.根據權利要求1所述的基于平面環形微腔的氣體檢測傳感器，其特征在于：所述的平面環形微腔為圓盤型微腔，或者為跑道型微腔。

4.根據權利要求1所述的基于平面環形微腔的氣體檢測傳感器，其特征在于：所述的耦合器中平面環形微腔與雙錐形光纖的間距為0～2μm。