[發明專利]一種單層光學薄膜光學常數和厚度的檢測方法

無效

• 申請號: 200810071894.8
• 申請日: 2008-09-28
• 公開（公告）號: CN101363768A
• 公開（公告）日: 2009-02-11
• 發明（設計）人: 周建華;蔡國雄;祁放;游佰強;李偉文
• 申請（專利權）人: 廈門大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G01B11/06;G01N21/17
• 代理公司: 廈門南強之路專利事務所
• 代理人: 馬應森

1.一種單層光學薄膜光學常數和厚度的檢測方法，其特征在于包括以下步驟：

1)測量透射光譜：利用分光光度計，測量正入射情況下單層光學薄膜的不扣除基底的透射光譜；

2)選取透射率數據：在測量透射光譜上選取透射率數據代入評價函數，所述評價函數由最小二乘法構建，表達式為：

E=Σi=1N{Tci[n2(λi),k2(λi),d;λi]-Tmi(λi)}2]]>

其中，λ表示在透射光譜上所選取的波長點，T_ci表示經由透射率公式計算得到的相應波長點上的透射率，T_mi表示分光光度計測量得到的相應波長點上的透射率，N為選取的參與反演計算的透射率數據的數量，n₂、k₂和d分別為待求的單層光學薄膜的折射率、消光系數和厚度；

3)反演求解：采用改進模擬退火算法對評價函數進行反演求解；

4)分析結果：通過恢復透射光譜，對算法返回結果進行分析。

2.如權利要求1所述的一種單層光學薄膜光學常數和厚度的檢測方法，其特征在于所述選取透射率數據時，選取4個透射率數據。