[發明專利]一種氮化鎵基外延膜的制備方法

無效

• 申請號: 200810070780.1
• 申請日: 2008-03-19
• 公開（公告）號: CN101246820A
• 公開（公告）日: 2008-08-20
• 發明（設計）人: 劉寶林;黃瑾;鄭清洪
• 申請（專利權）人: 廈門大學
• 主分類號: H01L21/20
• 分類號: H01L21/20;H01L21/762;H01L21/84;H01L33/00;H01L31/18;H01S5/00
• 代理公司: 廈門南強之路專利事務所
• 代理人: 馬應森

1.一種氮化鎵基外延膜的制備方法，其特征在于包括以下步驟：

1)采用金屬有機物氣相外延法、分子束外延法或氫化物外延法在藍寶石襯底上生長氮化鎵基外延膜；

2)將藍寶石襯底上生長氮化鎵基外延膜的P面用環氧樹脂粘在襯底支撐材料上，或用金屬鍵合在襯底支撐材料上，所述襯底支撐材料為硅片或其他導熱導電襯底；

3)根據所要求的激光光斑大小和激光器脈沖頻率設定電動平臺的行進的速度；

4)將藍寶石襯底上生長氮化鎵基外延膜固定在載物玻璃上，再連同電動平臺一起放入真空室中抽真空；

5)調節激光器的輸出能量密度，調整激光束經過光學系統后的聚焦光斑大小，激光束進入真空室的石英透鏡窗口，照射到藍寶石襯底上生長氮化鎵外延膜的背面上，電動平臺沿二維平動或螺旋線移動，激光光斑掃描整個藍寶石襯底上生長氮化鎵外延膜，使藍寶石和氮化鎵界面的氮化鎵發生分解，氮化鎵基外延膜與藍寶石襯底分離；

6)激光掃描藍寶石襯底上生長氮化鎵基外延膜結束后，先關閉閥門，再關閉真空泵；

7)將藍寶石襯底上生長氮化鎵基外延膜浸入鹽酸中，去除氮化鎵和藍寶石表面的鎵，使藍寶石襯底脫落，即得轉移到硅片或其他導熱導電襯底上的氮化鎵基外延膜。

2.如權利要求1所述的一種氮化鎵基外延膜的制備方法，其特征在于所述其他導熱導電襯底為銅片。

3.如權利要求1所述的一種氮化鎵基外延膜的制備方法，其特征在于所述抽真空的真空度為10～10^-5Pa。

4.如權利要求1所述的一種氮化鎵基外延膜的制備方法，其特征在于所述鹽酸的濃度為50％。

5.如權利要求1所述的一種氮化鎵基外延膜的制備方法，其特征在于所述再連同電動平臺一起放入真空室中抽真空之前，利用加熱裝置對藍寶石襯底上生長氮化鎵外延膜進行加熱。