[發明專利]一種激光共聚焦顯微系統

有效

• 申請號: 200810068031.5
• 申請日: 2008-06-25
• 公開（公告）號: CN101614867A
• 公開（公告）日: 2009-12-30
• 發明（設計）人: 宋體涵
• 申請（專利權）人: 清溢精密光電（深圳）有限公司
• 主分類號: G02B17/08
• 分類號: G02B17/08
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所
• 代理人: 張全文

1.一種激光共聚焦顯微系統，包括顯微成像部分和激光引入部分，所述顯微成像部分具有第一光軸，所述激光引入部分具有第二光軸，其特征在于：所述第一光軸與第二光軸平行，于所述第二光軸上設置有第一反射鏡，于所述第一光軸上設置有合束鏡，所述第二光軸通過所述第一反射鏡和所述合束鏡與所述第一光軸匯合；所述顯微成像部分包括用于觀測顯微物面的顯微物鏡，所述顯微物鏡與所述合束鏡同光軸設置；所述顯微成像部分還包括用于光線聚焦的第一結像鏡、用于將聚焦光線反射的第二反射鏡和用于接收反射光線并成像的成像面，所述顯微物鏡、所述合束鏡、所述第一結像鏡和第二反射鏡依次同光軸設置；所述激光引入部分包括用于接收引入激光的耦合鏡、用于將調節后的激光反射的第一反射鏡和用于將反射激光聚焦的第二結像鏡，所述耦合鏡和第一反射鏡依次同光軸設置，所述第一反射鏡、第二結像鏡和合束鏡依次同光軸設置。

2.如權利要求1所述的激光共聚焦顯微系統，其特征在于：所述激光共聚焦顯微系統還包括反射照明部分，所述反射照明部分包括依次設置的反射光源、將反射光線聚焦的第一透鏡、將聚焦光線反射的第四反射鏡和將反射光線聚焦的第二透鏡，于所述第一結像鏡與合束鏡之間設置有用于接收穿過所述第二透鏡的聚焦光線的第三反射鏡，所述第三反射鏡位于所述第一光軸上。

3.如權利要求2所述的激光共聚焦顯微系統，其特征在于：所述反射光源為紫外光。

4.如權利要求1所述的激光共聚焦顯微系統，其特征在于：所述激光引入部分還包括用于調節激光照射寬度的可變狹縫，所述耦合鏡、可變狹縫和第一反射鏡依次同光軸設置。

5.如權利要求4所述的激光共聚焦顯微系統，其特征在于：所述激光引入部分還包括光斑指示部分，所述光斑指示部分包括指示光源、接收指示光線并將指示光線聚集的第三透鏡、第一球面鏡和第二球面鏡，所述指示光源、第三透鏡、第一球面鏡、第二球面鏡和還可用于將聚焦后的指示光線反射至所述第二光軸的所述耦合鏡依次同光軸設置。

6.如權利要求5所述的激光共聚焦顯微系統，其特征在于：所述指示光源為紫外光。

7.如權利要求1所述的激光共聚焦顯微系統，其特征在于：所述顯微物面上相對所述顯微物鏡的另一側還包括透射照明部分，所述透射照明部分包括透射光源、接收所述透射光源的并將光線聚焦的非球面透鏡、第一球面鏡、第二球面鏡、用于將聚焦光線反射的第五反射鏡和用于將反射光線聚焦的聚焦鏡，所述透射光源、非球面透鏡、第一球面鏡、第二球面鏡、第五反射鏡同光軸設置，所述第五反射鏡和聚焦鏡設置于所述第一光軸上，且位于所述顯微物面的下側。

8.如權利要求7所述的激光共聚焦顯微系統，其特征在于：所述透射光源為紫外光。