[發(fā)明專利]液晶顯示面板及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810067120.8
• 申請(qǐng)日: 2008-05-09
• 公開（公告）號(hào): CN101576693A
• 公開（公告）日: 2009-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 傅健忠;賴建廷;李冠鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 群康科技(深圳)有限公司;群創(chuàng)光電股份有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/1362
• 分類號(hào): G02F1/1362;H01L27/12;H01L21/84
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種液晶顯示面板，其包括一薄膜晶體管基板；該薄膜晶體管基板包括一顯示區(qū)和一與該顯示區(qū)相鄰的非顯示區(qū)；該顯示區(qū)包括多條驅(qū)動(dòng)線，每一驅(qū)動(dòng)線延伸至該非顯示區(qū)并形成一末端；該非顯示區(qū)包括一設(shè)置在該末端表面的保護(hù)層、一設(shè)置在該保護(hù)層表面的連接墊和一包括一引腳的信號(hào)驅(qū)動(dòng)器，該連接墊通過(guò)一貫穿該保護(hù)層的接觸孔與該末端電連接，該信號(hào)驅(qū)動(dòng)器通過(guò)多個(gè)導(dǎo)電粒子與該連接墊電連接，其特征在于：該接觸孔的寬度小于該導(dǎo)電粒子的直徑，定義與該薄膜晶體管基板所處平面平行的平面為水平平面；在水平方向上，該保護(hù)層包括一鈍化層圖案和一半導(dǎo)體層圖案，該鈍化層圖案與該半導(dǎo)體層圖案的厚度相同；該接觸孔由該鈍化層圖案和該半導(dǎo)體層圖案圍成。

2.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示面板，其特征在于：該非顯示區(qū)進(jìn)一步包括一絕緣層，該絕緣層設(shè)置在該保護(hù)層和該末端之間，貫穿該保護(hù)層的接觸孔同時(shí)貫穿該絕緣層與該末端電連接。

3.如權(quán)利要求2所述的液晶顯示面板，其特征在于：該信號(hào)驅(qū)動(dòng)器為掃描驅(qū)動(dòng)器，該引腳的面積與該連接墊的面積相同。

4.如權(quán)利要求2所述的液晶顯示面板，其特征在于：該接觸孔在水平平面上的截面圖案呈矩形，該寬度是該矩形的寬度；或者該接觸孔在水平平面上的截面圖案呈圓形，該寬度是該圓形的直徑；或者該接觸孔在水平平面上的截面圖案為矩形環(huán)，該寬度是該矩形環(huán)的內(nèi)側(cè)矩形與其外側(cè)矩形之間距；或者該接觸孔在水平平面上的截面圖案為圓環(huán)，該寬度是該圓環(huán)的外圓半徑與其內(nèi)圓半徑的差值。

5.一種液晶顯示面板制造方法，其步驟包括：

a.提供一絕緣基底，并在該基底上沉積一第一金屬層；在一道掩膜工藝中形成一掃描線于該絕緣基底上，該掃描線包括一掃描末端；

b.在該掃描線和該絕緣基底上依序沉積一絕緣層和一半導(dǎo)體層；在一道掩膜工藝中形成至少一第二半導(dǎo)體圖案，該至少一第二半導(dǎo)體圖案與該掃描末端相對(duì)應(yīng)；

c.在該至少一第二半導(dǎo)體圖案和該絕緣層上依序形成一鈍化層和一光致抗蝕劑層并形成預(yù)定的光致抗蝕劑圖案；

d.以該光致抗蝕劑圖案為遮罩對(duì)該鈍化層刻蝕，暴露出該至少一第二半導(dǎo)體圖案，再以該光致抗蝕劑圖案和該至少一第二半導(dǎo)體圖案為遮罩對(duì)該絕緣層刻蝕，形成至少一第二接觸孔；該至少一第二接觸孔與該掃描末端對(duì)應(yīng)；

e.在該鈍化層和該至少一第二接觸孔上形成一透明導(dǎo)電層，并于一道掩膜工藝中形成一掃描連接墊，該掃描連接墊與該第二接觸孔對(duì)應(yīng)；

f.提供一驅(qū)動(dòng)器，該驅(qū)動(dòng)器通過(guò)多個(gè)導(dǎo)電粒子與該掃描連接墊電連接，該至少一第二接觸孔的寬度小于該導(dǎo)電粒子的直徑。

6.如權(quán)利要求5所述的液晶顯示面板制造方法，其特征在于：該掃描連接墊貫穿該至少一第二接觸孔形成一掃描連接部，并通過(guò)該掃描連接部與該掃描末端電連接。

7.如權(quán)利要求6所述的液晶顯示面板制造方法，其特征在于：在形成該掃描線的同時(shí)形成一柵極于該絕緣基底上，該絕緣層覆蓋該柵極；在形成該至少一第二半導(dǎo)體圖案的同時(shí)形成一第一半導(dǎo)體圖案，該第一半導(dǎo)體圖案與該柵極對(duì)應(yīng)；在該步驟c之前該液晶顯示面板制造方法還包括：形成一源極和一漏極，該源極和漏極分別位于該柵極絕緣層表面且部分覆蓋該第一半導(dǎo)體圖案；該鈍化層也覆蓋該源極、該漏極和該第一半導(dǎo)體圖案；該步驟d還包括：以該光致抗蝕劑圖案為遮罩對(duì)對(duì)應(yīng)該漏極的鈍化層刻蝕，形成一第一接觸孔；該步驟e還包括：在形成該掃描連接墊的同時(shí)形成一像素電極，該像素電極覆蓋該第一接觸孔并通過(guò)該第一接觸孔與該漏極電連接。

8.如權(quán)利要求7所述的液晶顯示面板制造方法，其特征在于：在步驟c之前該液晶顯示面板制造方法進(jìn)一步包括：形成一數(shù)據(jù)線在該絕緣層上，該數(shù)據(jù)線具有一數(shù)據(jù)末端；在該數(shù)據(jù)末端上形成一第三半導(dǎo)體圖案；以該光致抗蝕劑圖案為遮罩對(duì)該鈍化層進(jìn)行刻蝕形成至少一第三接觸孔，該至少一第三接觸孔的寬度小于該導(dǎo)電粒子的直徑；形成一數(shù)據(jù)連接墊，該數(shù)據(jù)連接墊貫穿該至少一第三接觸孔形成一數(shù)據(jù)連接部，并通過(guò)該數(shù)據(jù)連接部與該數(shù)據(jù)末端電連接。

9.一種液晶顯示面板制造方法，其步驟包括：a.提供一絕緣基底，在該絕緣基底上形成一訊號(hào)線，該訊號(hào)線包括一訊號(hào)線末端；b.在該訊號(hào)線和該絕緣基底上依序沉積一絕緣層及一半導(dǎo)體層；在一道掩膜工藝中形成至少一第二半導(dǎo)體圖案，該至少一第二半導(dǎo)體圖案與該訊號(hào)線末端相對(duì)應(yīng)；c.在該至少一第二半導(dǎo)體圖案和該絕緣層上依序形成一鈍化層和一光致抗蝕劑層并形成預(yù)定的光致抗蝕劑圖案；d.以該光阻圖案為遮罩對(duì)該鈍化層刻蝕，暴露出該至少一第二半導(dǎo)體圖案，再以該光致抗蝕劑圖案和該至少一第二半導(dǎo)體圖案為遮罩對(duì)該絕緣層刻蝕，形成至少一第二接觸孔；該至少一第二接觸孔與該訊號(hào)線末端對(duì)應(yīng)；e.在該鈍化層和該至少一第二接觸孔上形成一透明導(dǎo)電層，并在一道掩膜工藝中形成一連接墊，該連接墊與該第二接觸孔對(duì)應(yīng)；f.提供一驅(qū)動(dòng)器，該驅(qū)動(dòng)器通過(guò)多個(gè)導(dǎo)電粒子與該連接墊電連接，該至少一第二接觸孔的寬度小于該導(dǎo)電粒子的直徑。