[發明專利]一種射頻電磁波屏蔽視窗玻璃及其制備方法

有效

• 申請號: 200810060569.1
• 申請日: 2008-03-28
• 公開（公告）號: CN101289287A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發明（設計）人: 平柏戰;張溪文;金朝良;劉化文
• 申請（專利權）人: 杭州錢塘江特種玻璃技術有限公司
• 主分類號: C03C27/10
• 分類號: C03C27/10;C03C17/36;H05K9/00;G12B17/02
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司
• 代理人: 韓介梅

1.射頻電磁波屏蔽視窗玻璃，其特征是依次由第一白玻層(1)、第一透明導電ITO金屬氧化物薄膜層(2)、第一銀鈦合金金屬薄膜層(3)、PU夾膠層(4)、第二銀鈦合金金屬薄膜層(5)、第二透明導電ITO金屬氧化物薄膜層(6)和第二白玻層(7)組成；第一、第二透明導電ITO金屬氧化物薄膜層的厚度分別為250-500nm，第一、第二銀鈦合金金屬薄膜層的厚度分別為10-20nm。

2.根據權利要求1所述的射頻電磁波屏蔽視窗玻璃的制備方法，其特征是包括以下步驟：

1)以白玻玻璃作為鍍膜襯底，清洗后放入電子束蒸發工作室，工作室抽真空，通入Ar氣體，用離子轟擊再次清潔襯底表面；

2)加熱襯底溫度至300～350℃，充入純氧氣，用電子束蒸發蒸鍍ITO金屬氧化物薄膜，控制工作室真空度4.8～5.2×10^-2Pa，束流10～50mA，氧氣流量75～100ml/min，沉積速率0.7～2.5埃/秒；

3)關閉工作室氧氣和加熱裝置，待冷卻至室溫后，用電子束蒸發在ITO金屬氧化物薄膜表面蒸鍍銀鈦合金薄膜，控制工作室真空度3-9.2×10^-4Pa，束流80～500mA，沉積速率2～3埃/秒；

4)將經過上述1)、2)、3)步驟處理的兩片鍍膜玻璃膜面相對，中間放置PU夾膠，進行預粘接，然后置于壓力釜中，于100～150℃溫度、1.0～1.5MPa壓力下粘接成制品。