[發明專利]基于鈮酸鋰的電光型S彎曲可變衰減器無效
| 申請號： | 200810059924.3 | 申請日： | 2008-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN101251625A | 公開（公告）日： | 2008-08-27 |
| 發明（設計）人： | 葛陸泉;李錫華;周強;江曉清;楊建義;王明華 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | G02B6/26 | 分類號： | G02B6/26;G02B6/13;G02F1/035 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 | 代理人： | 林懷禹 |
| 地址： | 310027浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 鈮酸鋰 電光 彎曲 可變 衰減器 | ||
【權利要求書】：
1、一種基于鈮酸鋰的電光型S彎曲可變衰減器，包括Ti擴散形成的鈮酸鋰S彎曲波導，其特征在于：S彎曲波導依次由輸入波導、輸入錐形過渡波導、S彎曲衰減波導、輸出錐形過渡波導和輸出波導構成；其中S彎曲衰減波導的波導寬度小于輸入、輸出波導寬度2～4μm；電極由覆蓋電極和接地電極組成，其中覆蓋電極經過SiO2緩沖層覆蓋在輸入錐形過渡波導區、S彎曲衰減波導區和輸出錐形過渡波導區上方，并且覆蓋電極以S彎曲衰減波導區中間點分為相連的兩部分，分別向S彎曲波導內側平移2～4μm；接地電極結構組成與覆蓋電極相同，同樣由相連的兩部分組成，接地電極與覆蓋電極間距2～3μm，覆蓋電極與接地電極分別由兩個焊點引出。
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