[發(fā)明專利]電泳脈沖金屬蒸氣激光系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810059417.X
• 申請(qǐng)日: 2008-01-21
• 公開（公告）號(hào): CN101237114A
• 公開（公告）日: 2008-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘佰良;毛邦寧;陳立;王亞娟;王麗敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號(hào): H01S3/00
• 分類號(hào): H01S3/00;H01S3/227
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司
• 代理人: 林懷禹

1.一種電泳脈沖金屬蒸氣激光系統(tǒng)，其特征在于包括激光放電管、脈沖放電電路、溫控儀和氣體流量控制系統(tǒng)，其中：

1)激光放電管：包括兩個(gè)窗口(1)，兩個(gè)真空連接管(2)，兩個(gè)冷凝泡(3)，繞電熱絲的儲(chǔ)料側(cè)管(5)，剛玉內(nèi)管(7)，石英基管(8)和兩個(gè)放電電極(17)；兩個(gè)窗口(1)與激光管兩端分別用真空連接管(2)連接，兩個(gè)放電電極(17)分別燒結(jié)在兩端口徑較大的石英基管(8)上，繞有電熱絲的儲(chǔ)料側(cè)管(5)燒結(jié)在靠近陽極端的石英基管(8)上，剛玉內(nèi)管(7)套在石英基管(8)內(nèi)，擴(kuò)散冷凝管(9)位于陰極一端的口徑較大的石英基管(8)上；

2)脈沖放電電路：包括直流高壓源(24)，充電電感(23)，高頻高壓硅堆(22)，閘流管(21)，兩個(gè)儲(chǔ)能電容(19、20)及旁路電感(18)；直流高壓源(24)的一端分別與激光放電管一端的放電電極(17)和閘流管(21)與第一儲(chǔ)能電容(20)的接地端相連，第二儲(chǔ)能電容(19)與激光放電管另一端的放電電極(17)相連，直流高壓源(24)的另一端經(jīng)充電電感(23)、高頻高壓硅堆(22)與第一儲(chǔ)能電容(20)、第二儲(chǔ)能電容(19)串接點(diǎn)連接，高頻高壓硅堆(22)的負(fù)極接閘流管(21)陽極，旁路電感(18)并接在兩放電電極(17)之間；

3)溫控裝置：包括保溫鋁套(4)、繞有電熱絲的儲(chǔ)料側(cè)管(5)和帶熱電偶的溫控儀(6)；保溫鋁套(4)與石英基管(8)同軸放置，兩端留有填充保溫陶瓷纖維2～3厘米的間隙，熱電偶放在儲(chǔ)料側(cè)管(5)下端；

4)氣體流量控制系統(tǒng)：包括高純鋼瓶緩沖氣體(15)，減壓閥(14)，進(jìn)氣針形閥(13)，真空表(16)，過濾器(10)、抽氣針形閥(11)和真空泵(12)；高純鋼瓶緩沖氣體(15)經(jīng)減壓閥(14)，進(jìn)氣針形閥(13)接激光放電管的一側(cè)，進(jìn)氣針形閥(13)上裝有真空表(16)；真空泵(12)經(jīng)抽氣針形閥(11)，過濾器(10)接激光放電管的另一側(cè)。