[發明專利]一種表面等離子共振的相位測量方法及其測量系統

無效

• 申請號: 200810056953.4
• 申請日: 2008-01-28
• 公開（公告）號: CN101398378A
• 公開（公告）日: 2009-04-01
• 發明（設計）人: 鄭錚;萬育航;趙欣;朱勁松;范江峰
• 申請（專利權）人: 國家納米科學中心;北京航空航天大學
• 主分類號: G01N21/55
• 分類號: G01N21/55;G01N21/41
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種表面等離子共振的測量方法，包括以下步驟：

(1)將寬譜光經過能產生線性偏振態的第一偏振控制器起偏，使其具有介于s方向和p方向之間的偏振方向；

(2)將所述線偏振寬譜光以固定角度入射到待測SPR器件；

(3)所述寬譜光在通過所述SPR器件之前和/或之后通過偏振相關的延時器件，使得寬譜光中的s方向偏振的光和p方向偏振的光分量具有固定延時差，該延時差使步驟(4)中檢測到的光譜在光譜測量設備的精度范圍內產生多個光譜干涉條紋；

(4)對具有上述延時差的寬譜光在一個特定線偏振方向進行檢偏，其檢偏方向必須同時使線偏振光的s方向和p方向分量部分通過，之后進行光譜強度檢測，并根據檢測得到的一組頻域干涉條紋，利用數據處理方法，得到SPR效應的頻域相位信息，在獲得所述頻域相位信息的過程中，掃描部分的光源、檢測結構、檢測設備均固定不動。

2.根據權利要求1所述的測量方法，其特征在于，所述步驟(1)中產生的線偏振寬譜光優選使s方向和p方向分量大小相同的45度線偏振光。

3.根據權利要求1所述的測量方法，其特征在于，所述步驟(4)中的檢偏方向優選45度偏振方向。

4.一種表面等離子共振的測量系統，包括寬譜光源、能夠使寬譜光產生介于s方向和p方向之間的偏振方向的線性偏振態的第一偏振控制器、能夠產生不同偏振光之間的固定延時差的偏振相關的延時器件、待測SPR器件、用于檢偏的第二偏振控制器、用于檢測經過SPR器件的光的光譜檢測設備和用于處理所述檢測設備檢測結果的數據處理系統，所述延時器件設置于所述第一和第二偏振控制器之間的光路上，其對s方向和p方向分量的偏振相關的延時差的大小使經過第二偏振控制器的光的光譜在光譜測量設備的精度范圍內產生多個光譜干涉條紋，測量過程中測量系統中的光源、檢測結構、檢測設備固定不動。

5.根據權利要求4所述的測量系統，其特征在于，所述寬譜光源為非相干或相干寬譜光源，包括白光源、受激自發輻射光源、超熒光二極管光源、超連續譜光源或鎖模激光器。

6.根據權利要求4所述的測量系統，其特征在于，所述偏振控制器件包括偏振片或格蘭棱鏡。

7.根據權利要求4所述的測量系統，其特征在于，所述偏振相關的延時器件包括雙折射晶體或保偏光纖。

8.根據權利要求4所述的測量系統，其特征在于，所述光譜檢測設備為光譜強度檢測設備，包括光譜儀、單色儀或光纖光柵解調儀。