[發明專利]一種阻抗匹配器

有效

• 申請號: 200810056600.4
• 申請日: 2008-01-22
• 公開（公告）號: CN101494946A
• 公開（公告）日: 2009-07-29
• 發明（設計）人: 陳鵬
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;H01L21/00
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司
• 代理人: 王 琦;王誠華

1.一種阻抗匹配器，其特征在于包括：

電壓電流傳感器，用于監測等離子體反應室內的阻抗狀態，輸出表征等離子體反應室阻抗狀態的信號至控制系統；

控制系統，用于按照事先確定的匹配控制方法生成控制信號，驅動執行機構調節射頻電源的負載阻抗，實現所述射頻電源的輸出阻抗與所述射頻電源的負載阻抗的匹配；采集所述電壓電流傳感器的表征等離子體反應室阻抗狀態的信號，并根據表征等離子體反應室阻抗狀態的信號計算出等離子體反應室的阻抗值；

執行機構，用于接收所述控制系統的控制信號，根據控制信號調節所述射頻電源的負載阻抗；

所述控制系統包括：

負載狀態監測模塊，用于采集所述電壓電流傳感器的表征等離子體反應室阻抗狀態的信號，并根據表征等離子體反應室阻抗狀態的信號計算出等離子體反應室的阻抗值；

反射功率采集模塊，用于采集所述射頻電源的反射功率信號，并輸出反射功率至匹配控制模塊；

匹配控制模塊，用于利用所述反射功率采集模塊采集的反射功率，按照事先確定的匹配控制方法生成控制信號驅動所述執行機構；

所述執行機構包括第一可變電抗元件和第二可變電抗元件；

所述匹配控制模塊包括：

第一匹配調節單元，用于根據所述反射功率采集模塊輸入的反射功率，持續輸出使所述第一可變電抗元件的阻抗值單向遞增或遞減的控制信號，以使反射功率降低，直至反射功率不能再降低，然后觸發第一匹配判斷單元；

第一匹配判斷單元，用于根據所述反射功率采集模塊輸入的反射功率是否為零判斷阻抗是否匹配，如果反射功率不為零則阻抗不匹配，觸發第二匹配調節單元；

第二匹配調節單元，用于根據所述反射功率采集模塊輸入的反射功率，持續輸出使所述第二可變電抗元件的阻抗值單向遞增或遞減的控制信號，以使反射功率降低，直至反射功率不能再降低，然后觸發第二匹配判斷單元；

第二匹配判斷單元，用于根據所述反射功率采集模塊輸入的反射功率是否為零，判斷阻抗是否匹配，如果反射功率不為零則阻抗不匹配，觸發所述第一匹配調節單元。

2.根據權利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述反射功率采集模塊直接通過一與所述射頻電源連接的外接信號傳輸線，采集所述射頻電源的反射功率。

3.根據權利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，還包括功率傳感器，設于射頻輸入端，用于從所述射頻輸入端采集所述射頻電源的反射功率信號，并輸出至所述反射功率采集模塊。