[發明專利]一種基于壓電陶瓷驅動器的變形拋光磨盤無效
| 申請號： | 200810056584.9 | 申請日： | 2008-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN101239446A | 公開（公告）日： | 2008-08-13 |
| 發明（設計）人： | 胡自強;凌寧;潘君驊 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電技術研究所;煙臺大學 |
| 主分類號： | B24B13/00 | 分類號： | B24B13/00;B24B41/04 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責任公司 | 代理人： | 賈玉忠;盧紀 |
| 地址： | 61020*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 壓電 陶瓷 驅動器 變形 拋光 磨盤 | ||
1、一種基于壓電陶瓷驅動器的變形拋光磨盤，由底座(1)、N個壓電陶瓷驅動器(2)、基盤(3)和導線插座(4)組成；其特征在于：底座(1)上表面是球面，N個壓電陶瓷驅動器(2)沿徑向安裝在底座(1)上表面上，基盤(3)是安裝在壓電陶瓷驅動器上的球面薄板，導線插座(4)安裝在底座的下表面。
2、根據權利要求1所述的一種基于壓電陶瓷驅動器的變形拋光磨盤，其特征在于：每一個壓電陶瓷驅動器(2)上都有一路加載在其上的數控電壓源，各壓電陶瓷驅動器(2)通過導線插座(4)與各自的數控電壓源相聯接。
3、根據權利要求1所述的一種基于壓電陶瓷驅動器的變形拋光磨盤，其特征在于：基盤(3)為金屬鋁制作而成的球面薄板。
4、根據權利要求1所述的一種基于壓電陶瓷驅動器的變形拋光磨盤，其特征在于：壓電陶瓷驅動器(2)的數目N可以根據基盤變形后的面型精度要求和基盤(3)的面積大小來進行設計；基盤(3)的面積大小一定的情況下，壓電陶瓷驅動器(2)數目N越多實現的面型精度越高。
5、根據權利要求1所述的一種基于壓電陶瓷驅動器的變形拋光磨盤，其特征在于：每一個壓電陶瓷驅動器(2)都能夠通過改變加載在其上的電壓值產生一定的伸縮變化，從而使基盤(3)的面型能夠相應改變。
6、根據權利要求5所述的壓電陶瓷驅動器的伸縮變化，其特征在于：每一個壓電陶瓷驅動器(2)的最小伸縮量為納米級，能夠使得基盤(3)產生高精度的非球面面型。
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