[發明專利]一種基于相變材料的透射電鏡電學測量載網

無效

• 申請號: 200810056408.5
• 申請日: 2008-01-18
• 公開（公告）號: CN101217097A
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發明（設計）人: 張澤;王珂;劉攀;韓曉東
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/26;G01N23/00
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司
• 代理人: 張慧

1.一種基于相變材料的透射電子顯微鏡電學測量載網，其特征在于：包括有支撐部分和電路部分，所述的支撐部分包括有金屬環(1)，所述的電路部分包括有兩個電極(2)、待測元件和相變材料非晶薄膜(5)，電極(2)與金屬環(1)絕緣粘合，相變材料非晶薄膜(5)均勻分布在兩電極(2)之間，相變材料薄膜(5)為非晶態，待測元件位于相變材料非晶薄膜(5)中或者集成在其中的一個電極(2)上；

所述的相變材料非晶薄膜(5)在電子束或激光輻照下從非晶相相變為晶體相，并能夠在高電壓或電脈沖或激光照射下從晶體轉變為非晶。

2.根據權利要求1所述的一種基于相變材料的透射電子顯微鏡電學測量載網，其特征在于：所述的金屬環(1)的厚度在0.1mm～0.5mm之間。

3.根據權利要求1所述的一種基于相變材料的透射電子顯微鏡電學測量載網，其特征在于：所述的兩個電極(2)為寬度在0.75mm～1mm之間、長度在1.6mm～2.5mm之間的梳狀電極。

4.根據權利要求1所述的一種基于相變材料的透射電子顯微鏡電學測量載網，其特征在于：所述相變材料非晶薄膜(5)的厚度為10nm～50nm。

5.根據權利要求1所述的一種基于相變材料的透射電子顯微鏡電學測量載網，其特征在于：所述的待測元件為納米尺寸的微型器件。

6.根據權利要求5所述的一種基于相變材料的透射電子顯微鏡電學測量載網，其特征在于：所述的微型器件納米線或納米球。