[發明專利]具有超疏水性能的多孔導電納米銅薄膜材料的制備方法無效
| 申請號： | 200810056012.0 | 申請日： | 2008-01-11 |
| 公開（公告）號： | CN101285168A | 公開（公告）日： | 2008-10-15 |
| 發明（設計）人： | 王波;李國星;劉毅;宋雪梅;李耳;嚴輝;朱滿康;汪浩;王如志;侯育冬;張銘 | 申請（專利權）人： | 北京工業大學 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京思海天達知識產權代理有限公司 | 代理人： | 劉萍 |
| 地址： | 100022*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 疏水 性能 多孔 導電 納米 薄膜 材料 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1、具有超疏水性能的多孔導電納米銅薄膜材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)先對沉積室抽真空，真空度達到10-4Pa以上，再對襯底進行加熱到350℃-450℃用來驅趕襯底及其附近的氧分子，再降低到100℃；然后充入氬氣，氣壓在0.1～0.5Pa的范圍內；
2)用300W-400W功率在作為襯底的固體表面上沉積一層金屬銅薄膜，厚度在0.5微米到1.5微米的范圍；
3)將襯底原位進行50W-180W功率濺射沉積，基底溫度在100℃到150℃的范圍，濺射處理時間50～90分鐘。
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