[發明專利]半導體設備中的平臺輔助裝置

無效

• 申請號: 200810055854.4
• 申請日: 2008-01-10
• 公開（公告）號: CN101482745A
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發明（設計）人: 韋磊
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;G08C23/04;H01L21/00
• 代理公司: 北京市德權律師事務所
• 代理人: 李 偉

技術領域

本發明涉及傳感器技術領域，特別涉及一種半導體設備中的平臺輔助裝置。

背景技術

半導體設備中平臺腔室的腔室蓋在對腔室內部進行真空機械手更換或調試，以及清理腔室內部時，需要將其打開。圖1示出了平臺腔室裝配體的示意圖，其中1為平臺腔室的腔室蓋，2為平臺腔室，當平臺正常工作時，腔室蓋1處于關閉狀態，當對平臺腔室2的內部進行清理或維護內部部件(如更換機械手)時，需要將腔室蓋1打開(如圖2所示)。在實際操作過程中，當腔室蓋1處于打開狀態時，可以實現對平臺的任何操作，但是同時也帶來了安全方面的問題，由于平臺上沒有任何能夠探測并顯示腔室蓋1狀態的裝置，使得工作人員只能依靠眼睛來觀察腔室蓋1的狀態，這樣勢必就會帶來如下缺點：

1.安全性差：如果操作人員沒有得到腔室蓋1已打開的信息就對平臺進行操作，則可能會對人員或設備造成損害，例如在腔室蓋1打開時，有維護人員對機械手進行維護時，如果由于操作平臺人員視線受阻而沒有觀察到腔室蓋1已打開，就對平臺進行抽真空操作，那么就會對人員和設備造成損害；

2.操作精確性不高和自動化程度低：在關閉腔室蓋1的時候，操作人員只能通過眼睛來觀察腔室蓋1是否被關閉到位，而僅靠眼睛來觀察不能保證合蓋的精確性，無法精確控制合蓋過程的結束；如果工作人員在不清楚當前腔室蓋1的狀態下，對平臺進行某些操作，就可能引發事故，造成人員傷害或設備損害；另外，在合蓋過程中，僅靠眼睛來觀察，不能很好的掌握關蓋的程度，也會對設備造成損害，自動化程度不高。

發明內容

為了提高操作半導體設備中的平臺的安全性及自動化程度，本發明提供了一種半導體設備中的平臺輔助裝置，該裝置包括：

傳感器發射裝置，用于發射探測信號；

傳感器接收裝置，用于接收所述傳感器發射裝置發射的探測信號，并在接收到所述探測信號后，向腔室蓋的動力裝置發出控制信號，相應地，所述腔室蓋的動力裝置接收到所述控制信號后，停止運行。

所述傳感器發射裝置安裝在所述平臺輔助裝置的腔室上，相應地，所述傳感器接收裝置安裝在所述平臺輔助裝置的腔室蓋上。

或者，所述傳感器發射裝置安裝在所述平臺輔助裝置的腔室蓋上，相應地，所述傳感器接收裝置安裝在所述平臺輔助裝置的腔室上。

所述傳感器發射裝置具體為紅外線傳感器，所述傳感器接收裝置具體為紅外線接收器。

或者，所述傳感器發射裝置具體為發光二極管，所述傳感器接收裝置具體為光電耦合器。

本發明提供的技術方案的有益效果是：本發明通過傳感器發射裝置和傳感器接收裝置可以清楚地了解腔室蓋的狀態，從而提高了操作的安全性，同時還提高了腔室蓋關閉過程中的自動化程度。

附圖說明

圖1是現有技術中腔室蓋關閉時的平臺腔室裝配體示意圖；

圖2是現有技術中腔室蓋打開時的平臺腔室裝配體示意圖；

圖3是本發明實施例提供的腔室蓋打開時的半導體設備中的平臺輔助裝置示意圖；

圖4是本發明實施例提供的腔室蓋關閉時的半導體設備中的平臺輔助裝置示意圖。

具體實施方式

為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖對本發明實施方式作進一步地詳細描述。

實施例

參見圖3和圖4，本發明實施例提供的半導體設備中的平臺輔助裝置包括：傳感器發射裝置4和傳感器接收裝置3。其中，傳感器發射裝置4安裝在平臺輔助裝置的腔室2上，用于發射探測信號；傳感器接收裝置3安裝在平臺輔助裝置的腔室蓋1上，用于接收傳感器發射裝置4發射的探測信號，并在接收到傳感器發射裝置4發射的探測信號后，向腔室蓋1的動力裝置發出控制信號，相應地，腔室蓋1的動力裝置接收到該控制信號后，停止運行。實際應用中，傳感器接收裝置3發出的控制信號可以通過發送消息的方式來實現，還可以通過發送通知的方式來實現，本發明實施例并不限定傳感器接收裝置3發出控制信號的具體實現形式。